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41.
42.
目前电网智能化水平的提升对高压试验的智能化和试验效率也有了更高的需求,为解决现有的高压试验电源在高压交流绝缘试验中存在的不足,提升高压试验的效率,提出了一种智能化磁控谐振高压试验系统。该试验系统集升压、补偿和调谐于一体,具有升压调节平滑连续,结构紧凑等优势,可用于工频耐压试验。阐述了该系统的结构组成与基本原理,并搭建了该试验系统仿真模型,通过研究空载和负载运行特性验证了该系统原理的正确性。 相似文献
43.
44.
45.
《有色金属与稀土应用》2007,(4):28-28
一种高纯度Si-Ge系合金靶,其杂质少、成膜时厚膜均匀,此外颗粒的发生少、均匀性和膜组成均衡,溅射性能良好,可得到膜厚均匀、漏电流少的膜特性优异的Si-Ge系溅射膜。该高纯度Si-Ge系合金靶的制造方法,是除去气体成分,在高真空中熔炼、铸造纯度5N(99.999wt%)以上的成为高纯度Si-Ge系合金靶及主成分的高纯度Si及高纯度Ge,制作合金锭,在通过将其粉碎制成Si-Ge系合金微粉末后,烧结该微粉末成合金靶。 相似文献
46.
基于多元素靶溅射的Andersen-Sigmund关系式,在分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化之后,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关。只要给各元素之间设定适当的表面结合能比,就可以很容易地计算出三元合金靶稳定态表面化学成分,至少对于用2keV氩离子轰击的Ag-Pd-Au三元合金靶系来说,其计算结果都与实验值一致。所分析的实验数据是在常温下取得的,所以可不考虑离子轰击诱发的Gibbs偏析,其结论很可能是多元合金靶溅射的一般规律。此外,由Gaidikas等最近所提出的所谓择优溅射中的“基体效应”理论是无实验依据的。 相似文献
47.
48.
采用直流磁控反应溅射的方法在金属铝基板表面沉积AlN薄膜。通过XRD、SEM对绝缘膜层进行了研究分析,并测试了膜层的介电性能。结果表明:在靶基距和溅射功率分别为5cm、150W,衬底温度在室温25℃~300℃内制备的AlN薄膜为六方晶型,沿c轴平行于衬底表面的(100)和(110)晶面生长。AlN薄膜表面有很多蠕虫状形态的晶粒随机地分布在膜平面内,这可能是200℃的衬底温度下AlN薄膜介电性能较好的原因。 相似文献
49.
红外测速光幕靶改进及测量精度分析 总被引:2,自引:0,他引:2
为提高XGK-2002型红外测速光幕靶的测量精度及安装调试速度,提出采用双辅助激光器实现光源和接收精确对准的光幕靶改进方案.在现有红外测速光幕靶工作原理及结构基础上,对光源和接收对准中存在的问题进行了探讨,分析了其影响.提出了在光幕靶两端分别设置一激光器实现对准的光幕靶改进方案,并从测时误差及靶距误差两方面对改进后测量精度进行了分析.结果表明,改进后的光幕靶可快速、直观的实现光源和接收的对准,测试精度及安装可靠性提高,改进后测速精度可达到1‰. 相似文献
50.
隋妍萍 《上海电力学院学报》2010,(7)
采用孪生对靶直流磁控溅射的方法在室温下制备高质量的Ga掺杂ZnO(ZGO)透明导电薄膜,用HCl腐蚀的方法获得满足光散射特性的绒面ZGO薄膜。制备的ZGO样品为具有六角纤锌矿结构的多晶膜,具有(002)方向的择优取向。腐蚀后,绒面ZGO薄膜的晶粒度减小,电阻率基本不变。在可见光范围内,绒面ZGO的反射率比平面ZGO的反射率下降了10%左右。将绒面ZGO薄膜应用于p-i-n型非晶Si薄膜太阳电池中,有效提高了太阳电池性能,使得电池的短路电流提高到17.79 mA/cm2,电池的转换效率增加到7.23%。 相似文献