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《固体电子学研究与进展》2015,(6)
针对纳米级工艺多指栅MOS晶体管的不同版图结构及其阈值波动的相关特性进行分析和研究。通过将基于Fujitsu 90nm工艺的三种不同版图结构实现的N型多指栅MOSFET器件阈值电压VTH作为工艺波动的研究对象,运用多元非线性回归算法对测试芯片进行系统工艺波动与随机工艺波动的提取和分析,并对与尺寸、版图结构相关的随机工艺波动特性进行了评估。测试结果表明三种版图结构中有源区共有结构具有最佳的电流驱动特性,有源区隔离结构抑制系统波动能力最优,折叠栅结构具有同尺寸器件较低的阈值电压并可以最有效地抑制随机工艺波动。 相似文献
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物联网自诞生以来,相关产业迅速发展,在现代工业、公共服务、家庭民生等领域全方位渗透发展,成为驱动产业发展、推动传统产业升级的重要动力。石油行业作为传统能源型企业,也急需实现数字化转型以提升生产效率、降低生产成本。作者认为数字油田的实现要素与物联网内在架构高度契合,数字油田建设完全可以搭上物联网的便车,实现跨越式发展,所以用好物联网技术对于促进石油行业转型升级、加快智能化数字油田建设具有重要意义。 相似文献