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钛酸铅系薄膜的热释电性能及其应用 总被引:10,自引:1,他引:9
叙述了钛酸铅系薄膜的热释电原理,介绍了国际上近几年钛酸铅系薄膜材料、制备工艺及热释电性能,并与块状陶瓷材料进行了比较,分析表明钛酸铅系薄膜具有优良的热释电性能及可观的应用前景。 相似文献
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高温超导研究的新进展 总被引:2,自引:0,他引:2
本文简要回顾了一年来高温超导的新进展,特别介绍和讨论了新型高温超导体系和线材、带材、块材及薄膜应用的发展情况。 相似文献
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在纯Ar和Ar+10%O2两种工作气体及不同基板偏压条件下,用射频溅射方法制备了Al2O3薄膜,测量了每个样品的内应力和密度,并对部分样品用X射线光电子谱进行了结构分析。结果表明,薄膜呈非晶态,薄膜的应内应力均为压力,并给出了气体种类和偏压对膜的密度和应力的影响。 相似文献
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飞行时间二次离子质谱--强有力的表面、界面和薄膜分析手段 总被引:8,自引:0,他引:8
二次离子质谱(Secondary ion mass spectrometry,简称SIMS)是一种对表面灵敏的质谱技术,建立在表面各种类型带正、负电荷原子或分子发射的基础上。用飞行时间(Time of flight,简称TOF)仪器对这些二次离子进行质量分析,能确保并行质量登录、高质量范围、高流通率下的高分辨和精确质量测定这些优异性能。配合细聚焦扫描一次离子束,可在优于1nm的高深度分辨和优于50nm的横向分辨本领下,实现对表面优于单层ppm(百万分之一)量级的极高检测灵敏度。当今TOF-SIMS已发展为一种成熟且完善的表面分析技术。极高的灵敏度,再加上即使对大分子及不易挥发性分子都独具的敏感性,使它成为很多高技术领域不可缺少的分析手段,这些领域包括微电子学、化学和材料科学以至纳米技术和生命科学等。本文简述了TOF-SIMS的原理、仪器及其多方面的应用和展望。 相似文献
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热物理性质测试技术研究现状和发展趋势 总被引:3,自引:0,他引:3
本文在对热物理性质研究在热能工程、材料科学、信息科学、航天工程、环境工程、生物科学、微电子技术和计量学等众多科技领域中的重要性进行探讨的基础上,评述了热物理性质测试技术的研究现状和发展趋势。鉴于薄膜材料在微电子器件、集成电路和微电子机械系统等领域中日益广泛的应用,本文还综述了亚微米-纳米尺度薄膜材料热导率和热扩散率的测试新技术。 相似文献