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本文通过对摩擦片厚度在线测量装置系统构成的全面分析,对其驱动电路子系统进行了理论探索和技术研究,完成了相应的电路设计、误差分析及器件选择等工作,并进行了具体的实验验证,证明该驱动电路具有良好的性能,可圆满实现摩擦片厚度在线检测和实时分析的工作任务。 相似文献
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本文以实际中β射线厚度测量仪的记录为依据,对生产中常见的七种薄膜厚度缺陷进行了分类和详细的特征分析,在此基础上,采用适当的工艺手段对七种薄膜厚度缺陷进行了调节改善。结果表明均能得到较好的改善,辅以厚度自动控制系统,为薄膜质量的提高提供了较为实际的经验和数据。 相似文献
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