NiCr和TiAl合金靶材阴极电弧弧斑的运动特性

研究采用多弧离子镀技术镀膜时,电弧放电阶段中电弧弧斑的运动对后续膜层质量与靶材烧蚀有着非常重要的影响,目前很少有弧斑运动相关的研究。研究通过外加脉冲磁场以实现对阴极靶面磁场分布的精确调控,探究了磁场分布对弧斑运动的影响,并结合分形理论分析弧斑的运动轨迹,系统研究了电弧放电过程中靶面电弧弧斑的运动特性。结果表明,在永磁铁磁场与脉冲磁场共同作用下,弧斑在原有的随机运动基础上叠加了反安培力方向的旋转运动与向靶沿扩散的漂移运动。随着靶面总磁场强度的上升,弧斑平均运动速度增加,弧斑寿命变短;弧斑运动范围可控,最大运动范围可覆盖靶面的90％以上;分形维数可控,镍铬合金靶和钛铝合金靶弧斑轨迹图像的最大分形维数可分别为1.145和1.159,对应靶材烧蚀区域面积达到92％。通过改进工艺参数,能够显著减少大颗粒污染并提升膜层质量,同时通过维数可预测靶材烧蚀情况,能更高效地利用靶材。     

水洗处理对钼粉性能的影响分析

采用水洗、干燥工艺对普通钼粉进行后处理,以探究其对钼粉性能的影响。试验发现：钼粉经水洗干燥后,Fe、Ni等杂质元素含量变化不大,K元素含量明显降低;通过控制干燥时间,可将钼粉中的O含量控制到1 000×10^-6以下;水洗后,钼粉中细颗粒和团聚体有所减少,粒度分布变窄,松装密度和费氏粒度出现了一定幅度的上升。钼粉经水洗之后某些性能指标满足靶材钼粉的要求,为靶材钼粉的制备提供了新的思路。     

高导电性ZAO陶瓷靶材及薄膜的制备

用热等静压法烧结制备了高导电性ZAO(铝掺杂氧化锌)陶瓷靶材,并用直流磁控溅射法制备出ZAO透明导电薄膜。靶材的致密度达98.7%,电阻率为2.2?03·cm;制得薄膜的最低电阻率为9.3?04·cm,可见光平均透射率大于85%。浅析了靶材的组织结构及靶材的电学、力学性能和薄膜制备的主要实验参数对其光、电性能的影响。     

聚苯乙烯超薄薄膜制备

研究以苯乙烯为初始原料,通过自由基本体聚合为聚苯乙烯;经付克烷化反应,使聚苯乙烯芳环上的氢亲电取代为磺酸基、羟酸基等亲水端基,从而将聚苯乙烯改性为两亲分子;再利用单分子成膜法制备纳米级聚苯乙烯超薄薄膜的制备工艺。研究了压膜和提膜速度、温度及高靶压等工艺条件对超薄薄膜成膜性能的影响,用原子力显微镜表征了聚苯乙烯超薄薄膜的形貌。20nm厚的聚苯乙烯磺酸薄膜的表面呈现团簇结构。     

溶胶-凝胶法制备惯性约束聚变靶材料研究

本文主要介绍用sol-gel法制备具有纳米结构的SiO2、TiO2和ZrO2材料。这些材料的孔洞率和比表面积甚高（孔洞率为80％－99．8％,比表面为1000m^2/g）,孔洞尺寸和体积密度极小（典型的孔洞尺寸为1－100nm,最低体积密度为10kg/m^3）;折射率n在1．1－1．9范围内可调,并在相当大的范围具有很好的光谱选择性;材料的耐温特性良好,可耐温500℃以上。这些结构和性能特点有可能为惯性约束聚变研究扩展了靶材料选择的范围。此外,就制备过程中前驱体的选择、水解度和催化剂的影响、凝胶过程和后处理工艺对材料结构特性的影响进行了讨论。     

降温速率对ITO靶材相组成的影响

对400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000 ℃温度下煅烧制得的氧化铟锡(ITO)粉体进行X射线衍射分析, 利用Vegard定律分析得到的衍射数据计算出靶材的晶格常数和氧化锡在ITO靶材中的固溶度, 得出ITO靶材中氧化锡的固溶度大小主要与温度有关, 氧化锡相在靶材中的固溶度随着温度的升高而增大的结论.靶材热压烧结降温时, 保持120～150 ℃·h-1的降温速率可以得到纯度为99.995%, 相对密度为99.274%的氧化铟单相ITO靶材.     

射频溅射法生长ZnO薄膜的参数研究

以ZnO陶瓷为溅射靶材,通入纯氩气,使用射频溅射法在玻璃基片上制备ZnO薄膜,研究了气体压强、基片温度、溅射功率等对薄膜性质的影响。通过XRD及原子力显微镜(AFM)等检测得出制备C轴(002)ZAO薄膜的最佳工艺条件为:溅射压强0.4Pa;溅射功率200W;基片温度300℃。     

镀膜靶材北京市重点实验室

镀膜靶材北京市重点实验室,以下简称"实验室")依托于安泰科技股份有限公司(以下简称"安泰科技"),主要从事镀膜靶材和膜层共性技术的基础研究及应用研究,现有技术研发人员28名,其中,博士4名、硕士17名、本科5名、大专2名,并于2009年底从美国引进了一名拥有博士学位的专业化人才。由于靶材和膜层研究涉及多学科、多领域,实验室的研究方向涵盖了粉末冶金、金属材料、材料加工、机械制造、表面改性等多个学科。     

有机粘结剂对AZO靶材致密化的影响

以氧化锌及氧化铝为原料,以羧甲基纤维素和聚乙烯醇为粘结剂,制备了氧化锌铝靶材。探讨了粘结剂对靶材致密化过程的影响。实验结果表明:羧甲基纤维素是比聚乙烯醇更好的制作AZO靶材的粘结剂。制备的AZO靶材致密化效果良好,最大相对密度达99%以上。     

难熔金属钨、钼管材的应用及其制备技术研究进展

近年来,难熔金属W、Mo管材因其高熔点、高强度、热膨胀系数低、电阻率低、良好的热稳定性等优点被广泛应用于溅射镀膜行业、航空航天以及核工业领域。本文从难熔金属W、Mo管材的应用着手,重点分析了目前常用的W、Mo管材的制备方法,包括挤压、锻造、旋压、热等静压、等离子喷涂、化学气相沉积(CVD)等的工艺特点、管材性能优势及应用方向,提出了今后难熔金属W、Mo管材技术研发方向。应用于平面显示、太阳能光伏等行业的大尺寸高纯Mo及Mo合金管状溅射靶材,是难熔金属W、Mo材料最为重要的高端应用发展方向;我国在大尺寸W、Mo及其合金管靶制备等方面需进一步加强相关基础研究工作与装备投入。