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采用超高真空电子束蒸发法制备了新型高 K栅介质-非晶 ZrO2薄膜. X射线光电子能谱 (XPS) 中 Zr3d5/2 和 Zr3d3/2 对应的结合能分别为 182.1eV和 184.3eV, Zr元素的主要存在形式为 Zr4+,说明薄膜由完全氧化的 ZrO2组成 ,并且纵向分布均一.扩展电阻法( SRP)显示 ZrO2薄膜的 电阻率在 108Ω@ cm以上,通过高分辨率透射电镜( HR- XTEM)可以观察 ZrO2/Si界面陡直,没有 界面反应产物 ,证明 600℃快速退火后 ZrO2薄膜是非晶结构.原子力显微镜( AFM)表征了薄膜的 表面粗糙度,所有样品表面都很平整,其中 600℃快速退火样品 (RTA)的 RMS为 0.480nm. 相似文献
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目前,高硫原油(硫的质量分数大于2%)在原油总量中的比例已占到一半左右。高硫原油和低硫原油之间存在着明显的价差,随着国际油价的攀升,这种价差愈发明显。2004年高硫原油比低硫原油每桶便宜4.6美元,2005年上半年达到5.1美元。按此计算,加工200X10。t高硫原油,可节约原料成本¥5.6×10^8元。当然,加工1桶高硫原油成本要多约1美元。两者比较,在高油价的条件下,加工高硫原油仍有效益优势,具有高硫原油加工能力的炼油厂,能在一定程度上通过对原油品种的选择来控制成本。 相似文献
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小波变换在光谱特征提取方面的应用 总被引:4,自引:1,他引:3
人们在处理高光谱图像时一般要对一些典型地物进行光谱分析、特征波段的提取,以便提取出最大量的有效信息,剔除无用或冗余的信息,然后再进行分类识别.采用小波变换的分析方法,选用合适的小波进行分解,根据分解后的高频分量中包含的重要信息,利用局部相邻的正负极值点找出对应于原始光谱曲线上每个吸收带的左右边界;利用局部过零点,即可比较精确的提取出各个吸收带的中心波长.该方法比传统的光谱特征提取方法更简洁、有效,实验证明为一种比较理想的光谱特征提取方法. 相似文献
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