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41.
Si衬底上Ta-N/Cu薄膜性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
对Si衬底上Ta-N/Cu薄膜进行了电学和热学分析,结果发现500℃以下薄膜电随几乎不变,600-690℃下的退火引起的电阻率降低是由于Ta-N电阻的热氧化和Cu熔化扩散引起的,而690℃以上的电阻率增加是由于Cu引线传输能力减弱所致,为0.18μm以下的超大规模集成电路中的Cu引线和电阻薄膜的制作提供了有益的借鉴。 相似文献
42.
43.
本文对双跨换热器传热管在静水中的结构阻尼与粘滞阻尼作了简介,并对在总阻尼中占主导地位的挤压膜阻尼作了较深入的讨论。Mulcahy 于80年代初提出的挤压膜阻尼数学模型是较为完善的,其缺陷是未计入管子振幅的影响,本文对它进行了修正。为了验证理论分析的结果,笔者对双跨传热管在静水中的挤压膜阻尼作了实验研究,得出挤压膜阻尼与中间支承板厚度、管子-中间支承板间隙以及管子振幅之间的关系。 相似文献
44.
NiTi形状记忆薄膜的显微结构和力学性能 总被引:3,自引:0,他引:3
NiTi形状记忆合金薄膜具有形状记忆效应,极有希望用于制造高技术领域微电子机械系统中的微型激发器。NiTi形状记忆合金薄膜在制备和使用过程中需要高品质(衬)底材。本文利用高分辨电子显微学和高分辨分析电子显微学详细研究了硅底材NiTi形状记忆合金薄膜的NiTi/Si和NiTi/SiO2微结构体系,包括薄膜精细结构和界面反应。也研究了其显微结构和力学性能的关系。特别给出了NiTi形状记忆合金薄膜产生疲劳过程的微观过程的起因,通过高达十万个使用热循环前后样品显微结构变化的比较,发现纳米尺度上的TiNi3新相的形成导致疲劳过程的发生。如何抑制TiNi3新相形成的研究正在进行之中,这将为进一步提高NiTi形状记忆合金的使用寿命指出方向。 相似文献
45.
以Zn(C2 H5) 2 和CO2 为反应源 ,在低温下用等离子体增强化学气相沉积方法 ,在Si衬底上外延生长了高质量的ZnO薄膜。用X射线衍射谱和光致发光谱研究了衬底温度对ZnO薄膜质量的影响。X射线衍射结果表明 ,在生长温度为2 3 0℃时制备出了高质量 ( 0 0 0 2 )择优取向的ZnO薄膜 ,其半高宽为 0 2 6°。光致发光谱显示出强的紫外自由激子发射与微弱的与氧空位相关的深缺陷发光 ,表明获得了接近化学配比的ZnO薄膜 相似文献
46.
47.
48.
A photochromic nanocomposite based on Keggin structure phosphomolybdic acid (PMoA) well dispersed in polyethyleneglycol (PEG) was fabricated. TEM image showed that PMoA nanoparticles with narrow size distribution were finely dispersed in polymer matrix. FT-IR results showed that the Keggin geometry of polyoxometalates was still preserved inside the composites and strong coulombic interaction was built between PMoA and polymer matrix. Under UV irradiation, the film was reduced photochemically to yield a blue species, which was in accordance with a charge-transfer mechanism. 相似文献
49.
用己二酸二酰肼(ADH)对透明质酸(HA)进行化学修饰,制备交联透明质酸(HA-ADH)薄膜。粘度法测试表明HA-ADH是一种可降解的生物材料,并且与HA相比,HA.ADH的降解速率减慢。在此基础上,研究了以疏水性的替硝唑(TDZ)和亲水性的头孢唑啉钠(CEZ)为模拟药物的HA-ADH药物载体薄膜的释药性能。紫外-可见(UV-Vis)吸收光谱检测表明,HA-ADH是一种疏水性药物TDZ的优良缓释制荆,这是由于TDZ的疏水性和HA-ADH薄膜的缓慢溶胀和降解性能的结合而得到的,药物的释放主要受扩散机制控制。 相似文献
50.
A lubrication-flow model for a free film in a corner is presented. The model, written in the hyperbolic coordinate system
ξ = x
2 −y
2, η = 2xy, applies to films that are thin in the η-direction. The lubrication approximation yields two coupled evolution equations
for the film thickness and the velocity field which, to lowest order, describes plug flow in the hyperbolic coordinates. A
free film in a corner evolving under surface tension and gravity is investigated. The rate of thinning of a free film is compared
to that of a film evolving over a solid substrate. Viscous shear and normal stresses are both captured in the model and are
computed for the entire flow domain. It is shown that normal stress dominates over shear stress in the far field, while shear
stress dominates close to the corner.
This revised version was published online in October 2005 with corrected page numbers. 相似文献