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Abrasive particles used in chemical mechanical planarization (CMP) of copper often agglomerate and cause scratches on the finished surface. Abrasive-free CMP offers a feasible solution to this problem, and our present work examines four dicarboxylic acids (oxalic, malonic, succinic and glutaric, with increasing carbon chain lengths) as possible complexing agents for such a chemically dominated CMP process. At pH 3.0-4.0, oxalic and malonic acids are most effective for abrasive-free Cu removal. The rates of Cu dissolution and polish (with or without abrasives) are correlated with pH dependent distributions of mono-anionic (for oxalic and malonic) and neutral (for succinic and glutaric) acid species. The surface morphologies of a Cu wafers obtained by abrasive-free CMP in these acids also are more defect free and flat compared to those obtained using abrasives. 相似文献
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PaulWilliams DicksonLeung DominicMiranda 《电子工业专用设备》2005,34(5):57-61
随着微电子制造商持续缩小晶体管基极和其他元件的尺寸,集成电路的密度不断增大,电路连接工艺中开始使用低k介电质和铜导电体。为了进一步提高电路整体性能与射电频率性能、缩小体积、降低电源损耗、提高散热效率,承载电路的基片的厚度正在持续变薄。常规的工艺已经无法加工先进的超薄基片。为了解决这个工艺中的难题,BrewerScience利用自己先进的材料、工艺、机械设备的研究开发水平,正在开发一套崭新的超薄基片的加工操作流程。介绍用于将超薄基片暂时粘结到另一载体的系列材料和流程,完成加工以后,基片和载体可以很容易地分离。另外,对用于保护基片的新型涂料也进行了介绍。在对基片进行薄化和切割的时候,这种涂料可以对基片提供有效的保护。最后,介绍了高透明高折射材料,这些材料用在高亮度发光二极管(HB-LED)和微光电机械系统(MOEMS)中,可以降低由封装引起的光损耗。 相似文献
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简述909工程高纯气体管道系统设计中气体管道材料的选用,及设计对管道的施工安装,试压及验收的要求。 相似文献
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In p-i-n structure a-Si solar cell a buffer layer with proper characteristics plays important role in improving the p/i interface of the cell, reducing mismatch of band gaps and number of recombination centres. However for p-i-n structure microcrystalline ( µc-Si: H) cell which has much less light induced degradation than a-Si:H cell, not much work has been done on development of proper buffer layer and its application to µc-Si:H cell. In this paper we have reported the development of two intrinsic oxide based microcrystalline layer having different characteristics for use as buffer layers at the p/i interface of µc-Si:H cell. Previously SiOx:H buffer layer has been used at the p/i interface which showed positive effects. To explore the possibility of improving the performance of p-i-n structure µc-Si:H cell further we have thought it interesting to use two buffer layers with different characteristics at the p/i interface. The two buffer layers have been characterized in detail and applied at the p/i interface of the µc-Si:H cell with positive effects on all the PV parameters mainly improves the open circuit voltage (Voc) and enhances short circuit current (Isc). The maximum initial efficiency obtained is 8.97% with dual buffer which is 6.7% higher than that obtained by using conventional single buffer layer at the p/i interface. Stabilized efficiency of the cell with dual buffer is found to be ~9.5% higher than that with single buffer after 600 h of light soakings. 相似文献
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在探月任务中,由于月球表面温度变化非常大,探测器上的电缆需要经历高温达125℃,低温达-180℃的严酷极限温度条件,因此电缆装联所用的电连接器、热缩套管、灌封胶等材料是否能经受住如此严酷的温度是一个疑问。为此开展了高低温下电缆用材料的特性变化试验,并对出现的问题进行了分析,得出了可适用于深空探测的合适的材料。试验结果如下:(1)airborn微小型电连接器在125℃高温下绝缘性能显著下降,国产J30JH微小型连接器高温绝缘性能较稳定;(2)125℃高温下国产RSG热缩套管发生熔化并粘连;(3)高低温循环作用下,采用ATUM套管加热缩带或纯热缩带的方式可保证尾罩处理满足使用要求。 相似文献
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