Makrofol薄膜蚀刻特性研究

本文研究了Makrofol KG膜的总体蚀刻特性。研究结果表明,体蚀刻速度与蚀刻温度遵守Arr-henius方程V_b=a·e~(-E/KT),其中,体激活能E=0.66±0。02eV。体蚀刻速度与蚀刻浓度的关系为V_b=an~b,在1—10mol/l NaOH溶液中,b=2.02。     

双E形结构硅压力传感器的研制

介绍利用硅的各向异性腐蚀工艺腐蚀出的一种双E形结构非整体结构弹性膜硅芯片及用此芯片封装成的压力敏感元件。借助于这种硅芯片与不同厚度的封孔膜结合 ,制成了灵敏度和量程范围各不相同的性能优良的压力传感器     

磁控溅射矩形靶磁场的优化设计

磁控溅射靶材的利用率在降低生产成本中起着重要作用.正交的靶电磁场能显著地延长电子的运动路程,增加同工作气体分子的碰撞几率,提高等离子体密度,使磁控溅射速率数量级的提高,因此靶面正交电磁场的分布将决定靶的烧蚀情况.提出了2种改善矩形平面靶磁场分布的方法,经过分析,这2种设计将拓宽靶面的刻蚀范围,提高靶材的利用率.     

二维纳米材料MXene的研究进展

MXene是一类新型碳/氮化物二维纳米层状材料,一般是利用化学刻蚀的手段通过选择性刻蚀掉前驱体MAX相中的A原子层而得到.其通式可表示为Mn+1XnTx,其中M代表早期过渡族金属,X代表碳和/或氮,Tx代表MXene在刻蚀过程中产生的附着在其表面的官能团(-OH、-F、=O、等).采用一定的手段将多层MXene剥落,可获得类石墨烯形貌的单层MXene.MXene除了具备传统二维材料的性能外,还兼具良好的导电性、亲水性、透光性、柔韧性以及能量储存性能,在复合材料、润滑剂、环境污染治理、电池、电容器、催化、传感器、抗菌等领域具有潜在的应用价值.文章总结了MXene的制备、结构、性能和应用等方面的最新成果,并展望了其今后的研究方向.     

纳米金属银、铜辅助化学刻蚀制绒金刚线切割多晶硅的研究

以金刚线切割多晶硅为原料,研究不同纳米金属催化剂(银、铜)辅助化学刻蚀对纳米结构引入及多晶硅片表面制绒效果的影响。研究结果表明:不同纳米金属物种诱导刻蚀对硅片表面形貌结构的影响巨大,相比于纳米银辅助刻蚀形成的硅纳米线阵列结构而言,纳米铜辅助刻蚀形成的倒金字塔结构在各方面的性能均比较突出,大面积微尺度的倒金字塔阵列结构可以更完美地融合表面低反射率和钝化不佳之间的矛盾,且硅片表面切割纹去除效果明显。当金属铜辅助化学刻蚀制绒15 min时,倒金字塔结构最规则、均匀,且在300~1 100 nm波段范围内,反射率由原片的41.8%降低至5.8%。同时倒金字塔形貌具有优越的减反效果和去除切割纹能力,使得制绒金刚线切割多晶硅片有望用来制备高效率的太阳能电池。     

气体辅助注射成型高密度聚乙烯的结晶形态

通过扫描电镜(SEM)观察了气体辅助注射成型(GAIM)和常规注射成型(CIM)高密度聚乙烯(HDPE)的结晶形态,发现CIM试样为区分不明显的皮芯结构,而GAIM试样形成了包括球晶、串晶和取向片晶的多层结构.且GAIM试样球晶尺寸显著小于CIM制品.在结晶形态分析的基础上,初步探讨了气体辅助注射成型制品结晶形态的形成机理.     

Automated Hybridization of X-ray Absorber Elements A Path to Large Format Microcalorimeter Arrays

We have developed an automated die-scale process for the attachment of X-ray absorbers onto microcalorimeters. Here, we describe the process for the production of absorber tiles on a handle wafer, their attachment to the microcalorimeter, and the removal of the supporting handle wafer. The process is shown to be a robust path to large format arrays of microcalorimeters.      

一种用于药物释控系统的微针阵列及其制作方法的研究

 通过皮肤输送药物最大的障碍是皮肤最外层的角质层．传统的静脉注射用针只有刺透皮肤深入到深层组织内部,才能有效地输送药物,这容易引起感染和疼痛,给患者造成很大的不适．介绍了一种采用硅微加工技术制作的微针,它长度适中,既能穿透皮肤的角质层,又刺激不到深层组织的神经,实现无痛注射的目的．其加工工艺是采用硅的HNA(硝酸+氢氟酸+乙酸)腐蚀系统,是一种硅的各项同性的湿法腐蚀方法．     

Etch pit shapes on {110} surfaces of CaF2 crystals

{110} surfaces of CaF₂ crystals are etched with different concentrations of HCl. It is found that concentrated HCl produces characteristic rectangular pyramidal etch pits and 2 volume percent HCl produces boat shaped etch pits. Such variations in the etch pit shapes on {110} surfaces of CaF₂ crystals with different concentrations of HCl have been explained. Concentrated H₂SO₄ is found to be a suitable chemical polisher for these surfaces, the polishing rate is about 0·1μ/min.     

深高宽比微结构的干法刻蚀

介绍了深高宽比微结构在干法刻蚀过程中遇到的刻蚀滞后、刻蚀中止、侧壁弯曲和开槽效应等与传统器件刻蚀不同的现象,讨论了制作高深宽比结构所需的关键技术和检测手段.