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992.
ZnS掺杂技术研究及应用现状 总被引:1,自引:0,他引:1
对现阶段国内外在ZnS及ZnS基材料掺杂改性方面的研究成果进行了简要介绍,对纳米级ZnS发光材料掺杂改性的基本机理、主要的掺杂技术、方法进行了综述,并对多种掺杂元素的效果进行了分析比较。 相似文献
993.
天津市环欧半导体材料技术有限公司 《中国集成电路》2008,17(4):18-19
环欧公司首次在国内研制出了气相掺杂区熔硅单晶,设计出了一整套合理的气相掺杂区熔硅单晶的生长工艺,该工艺技术是具有自主知识产权的技术创新成果.2007年8月22日获国家知识产权局授予的生产发明专利,专利号ZL200610013497.6。环欧公刊的气相掺杂区熔硅单晶及其生产技术获得2007年半导体创新产品和技术奖。 相似文献
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