中频脉冲磁控溅射制备ZnO:Al透明导电薄膜

采用中频磁控溅射工艺,以2%的Al掺杂的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面及绒面透明导电ZnO:Al(ZAO)薄膜,系统研究了衬底温度、工作气压和溅射功率等对平面ZAO结构和光电特性的影响,并对湿法腐蚀制备绒面ZAO薄膜进行了介绍。获得了适合太阳电池的高性能薄膜,其电阻率为4.6×10-4Ω·cm,载流子浓度为4.9×1020cm-3,霍尔迁移率为56cm2/V·s,可见光范围内(400~800nm)的平均透过率大于85%。     

ZAO膜磁控溅射变参数制备技术

采用射频磁控溅射技术生长ZnO:Al(ZAO)薄膜,用X射线衍射仪检测薄膜的结晶质量。为了提高薄膜的生长效率,进行了在生长过程中调整生长参数的试验。结果发现,生长过程中适当地改变参数,不仅可以提高薄膜的生长效率,还可以获得结晶质量更好的薄膜。在工作压强0.35Pa、溅射功率120W条件下粗生长后,改变工作压强为0.2Pa、溅射功率80W进行细生长,制得的薄膜平均可见光透射率为88%,电阻率为7.8×10–4Ω·cm。     

溶胶-凝胶法制备ZAO薄膜及其结构与光学性能分析

以Zn（CH3COO）2·2H2O和Al（NO3）3·9H2O为主要原料，采用溶胶一凝胶法结合旋涂工艺以ITO玻璃为衬底制备获得掺Al型氧化锌透明导电薄膜（Zn2Al0.6O）。分别采用XRD和分光光度计测试分析了所制各薄膜的结构和透射光谱，并计算了薄膜的平均晶粒尺寸和光学带隙。结果表明，所制备薄膜为ZAO薄膜：薄膜平...     

微胡同

文章指出对胡同乃至北京旧城而言,对胡同文化最大的威胁不仅是恣意延展的商业开发,同时也是生长于此的大批原有居民的离去。老住户被迫遗弃胡同的现象持续上演,亟需一种应对策略以鹭住这里曾有的充满生机的居住传统。"微胡同"是张轲领导的标准营造在北京大栅栏杨梅竹斜街进行的一次改造实践,意图在继承传统胡同亲密性的同时,创造可供多人居住的超小型社会住宅,为胡同保护与有机更新提供一种新方式。     

薄膜厚度对Al掺杂ZnO薄膜性能的影响

采用直流磁控溅射技术,以氧化锌铝陶瓷靶为靶材,在玻璃衬底上制备了ZnO：Al（ZAO）薄膜样品。在其他参数不变的情况下,由不同溅射时间得到了不同厚度的薄膜,研究了薄膜的结构性质、电学和光学性质随薄膜厚度的变化关系。实验结果表明：在薄膜厚度为500 nm时,ZAO薄膜具有最优化的光电性能,电阻率为1.68×10-3Ω.cm,可见光区平均透射率为90.3%。     

用纳米Al2O3制备超高致密度ZAO靶材

将ZAO原料粉体中的Al2O3粒子的粒径降低到纳米级别后，通过无压烧结即可获得超高致密度的ZAO陶瓷靶材(相对密度高于99．0％)。致密度大大提高的原因在于，Al2O3粒子粒径降到纳米级后，比表面积和粒子数目都大大增加，从而实现坯体同步均匀的烧结，避免了大气孔的产生。     

靶材自制ZAO薄膜的制备与光电性能

采用传统陶瓷烧结工艺,制得性能良好的Al掺杂ZnO陶瓷靶.以此靶为溅射源,利用射频磁控溅射法制备ZAO薄膜,着重研究了400℃保温2 h重复退火次数对ZAO薄膜的组织结构及光电性能的影响.结果表明,随着重复退火次数的增加,薄膜晶体结构保持不变,薄膜结晶质量提高,但晶格尺寸逐渐变小;同时,随着退火次数增加,样品的平均透光率虽稍下降,但所有样品的透光率仍保持在80%以上,呈现良好的透光性;除经3次重复退火的样品外,退火使其它样品的紫外吸收边从375 nm附近移至360 nm左右;重复退火次数的增加使样品的电阻率先明显降低,再有较大的回升,之后又降低,当重复退火两次时,电阻率降至最低,为8.5×10-4 Ω·cm.对上述现象、结果及机理进行了详细讨论.     

室温无反应磁控溅射法制备ZAO导电薄膜及其特性研究

以氧化铝(Al2O3)掺杂的ZnO陶瓷靶材为基础,室温下采用无氧直流磁控溅射法在载玻片衬底上制备了ZnO∶Al(ZAO)透明导电薄膜,研究了不同的Al2O3掺杂量对薄膜微观结构、电阻率和透光率性能的影响。结果表明:掺杂量大于1%(质量分数,下同)的薄膜均呈c轴择优取向生长,薄膜致密无裂纹,具有光滑表面;掺杂量对薄膜的电阻率影响显著,当掺杂量为3%时,薄膜的电阻率最小,仅为7.4×10-3Ω.cm;掺杂量对薄膜的透光性无明显影响,不同掺杂量的薄膜在可见光区的平均透光率接近90%。     

柔性衬底硅基太阳电池ZAO透明导电膜的研究

采用孪生对靶直流磁控溅射的方法,在室温下制备了ZnO:Al(ZAO)薄膜材料,将其应用于柔性衬底非晶硅薄膜太阳电池的窗口电极。通过调整Ar气流量(1.67×10-7 m3/s～8.33×10-7 m3/s),优化了ZAO薄膜的结构、成份及光电性能。得到如下结论:理想的Ar气流量为3.33×10-7 m3/s,此时ZAO薄膜具有较高的晶化率和C轴择优取向,薄膜的霍尔电阻率达为4.26×10-4Ω.cm,载流子浓度达到1.8×1021cm-3,可见光波长范围内的光学透过率达到85%以上。将优化后的ZAO薄膜用于柔性衬底非晶硅薄膜太阳电池的窗口电极,转化效率达到了4.26%。     

High-alumina concretes and objects based upon them used for metal pouring

High-alumina concretes have been developed in OOO MetOgneupor for the production of objects for siphon steel pouring. Information is provided about the objects developed and their operating experience under ZAO MRK (mechanical repair unit) OAO MMK conditions. Translated from Novye Ogneupory, No. 3, pp. 11 – 12, March 2009.