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171.
孙星 《煤》2020,29(2):18-20
针对高瓦斯、低渗煤层瓦斯预抽过程中钻孔施工困难、抽采效果不理想等问题,采用液态CO2相变致裂技术,在阳煤五矿8406底抽巷进行穿层钻孔相变致裂试验,实践表明:煤层经两次致裂后,钻孔瓦斯抽采浓度和纯量明显提高,并且瓦斯抽采衰减期得到了延长,卸压增透效果显著,为矿井的安全生产提供了可靠的技术保障。  相似文献   
172.
本文综述了红外增透薄膜研究的一些新进展,其中包括宽带增透薄膜的多种设计和制备方法及具有优异性能的增透膜新材料的研究。  相似文献   
173.
多晶硅表面暗纹的形成以及消除技术研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
通过改变氢氟酸和硝酸的比列,进行了多晶硅表面腐蚀实验,实验研究发现不同配比酸液能刻蚀形貌不同的陷阱坑,消除深沟槽,但陷阱坑开口大,反射率比较高;在优化氢氟酸和硝酸配比的基础上加入阴离子活性剂,然后腐蚀多晶硅表面。实验样品的SEM显示,多晶硅表面能形成比较均匀开口小的陷阱坑,其表面反射率也比较低,而且能有效消除长而深的腐蚀沟槽,这对多晶硅太阳电池的研究具有一定的意义。  相似文献   
174.
抗反射亚波长光栅的特性研究   总被引:2,自引:2,他引:2       下载免费PDF全文
利用矢量衍射理论的数值求解方法,研究了亚波长光栅结构参数对反射率的影响,特别是基底厚度对反射率的影响,这些为设计和制作具有优良的抗反射性能的二元光学元件提供了设计依据.  相似文献   
175.
等离子体增强化学气相沉积端面减反膜的研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
张立江  熊兵  王健  孙长征  钱可元  罗毅 《半导体光电》2004,25(5):380-383,387
利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制作半导体有源器件端面减反膜的方法简单易行,且适合进行大规模在片制作.采用1/4波长匹配法对减反膜的折射率、膜厚及其容差进行了理论设计,并在选定折射率下,对PECVD的沉积速率进行了测量.在此基础上,制作了1.31 μm InGaAsP氧化膜条形结构超辐射发光二极管,通过测定输出光谱调制系数的方法确定出减反射膜的反射率为6.8×10-4,并且具有很好的可重复性.  相似文献   
176.
355 nm增透膜的设计、制备与性能   总被引:3,自引:0,他引:3  
余华  崔云  申雁鸣  齐红基  易葵  邵建达  范正修 《中国激光》2008,35(12):2026-2030
用热舟蒸发法结合修正挡板技术制备了355 nm LaF3/MgF2增透膜,并对部分样品进行了真空退火.采用Lambda 900光谱仪测试了增透膜的低反光谱和透射光谱,并考察了其光谱稳定性;使用脉冲8 ns的355 nm激光测试了增透膜的激光损伤阈值(LIDT);采用Normarski显微镜对增透膜的表面缺陷密度和破斑形貌进行了观察.实验结果表明,制备得到的增透膜的剩余反射率较低,光谱稳定性好;真空退火对增透膜的激光损伤阈值没有改善;增透膜的破环形貌为散点形式,结合破斑深度测试表明薄膜的破坏源于薄膜和基底界面的缺陷点.JGSl熔石英基底由于有好的表面状况、固有的高激光损伤阈值和以其为基底的增透膜具有更低的表面场强,使得其上的增透膜有更高的抗激光损伤能力.  相似文献   
177.
SLA端面增透膜设计的理论分析与计算   总被引:1,自引:0,他引:1  
鲁乙喜  王健华  周丹 《半导体光电》2000,21(2):143-146,149
文章推导了多层平板波导结构的半导体激光放大器 (SLA)端面反射率的计算方法 ,为优化设计SLA端面增透膜参数提供了工具。对InGaAs/InGaAlAs多量子阱SLA端面增透膜参数进行了优化设计 ,并给出优化结果。  相似文献   
178.
目前树脂镜片采用的绿色减反射薄膜容差小重复性差 ,而树脂镜片上用的绿色减反射膜要求容差大 ,重复性好 ,颜色纯度高。通过分析容差大小 ,容差对颜色的影响来得到实用的稳定的绿色的减反射薄膜。  相似文献   
179.
ZnSe窗口10.6 μm红外增透膜的研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
设计了ZnSe材料为基底10.6μm红外增透膜。低折射率膜材为BaF2,高折射率膜材为ZnS,计算出它们各自的光学厚度。对ZnSe零件镀膜后的透过率和牢固性等性能测试表明,其光学性能和牢固性皆优。  相似文献   
180.
叙述了傅里叶合成方法的原理和该方法用于ZnSe基底3~12μm红外增透膜的设计.通过反傅里叶变换期望的光谱特性曲线得到渐变折射率膜层.用薄膜特征矩阵的方法计算细分成很薄的多层均匀膜层的光谱透过率曲线,构造了新的Q函数和用逐次近似的方法修正膜层的折射率轮廓图,能有效地减小与期望透射率曲线的偏差.再给膜层加上五次方多项式匹配层与空气和基底两侧界面相匹配.所得渐变折射率增透膜在设计波段平均透射率达到95%.  相似文献   
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