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单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试 总被引:1,自引:1,他引:1
设计、制造并测试了一种单片集成的压阻式高性能三轴高g加速度计,量程可达105g.x和y轴单元均采用一种带微梁的三梁-质量块结构,z轴单元采用三梁-双岛结构.与传统的单悬臂梁结构或者悬臂梁-质量块结构相比,这两种结构均同时具有高灵敏度和高谐振频率的优点.采用ANSYS软件进行了结构分析和优化设计.中间结构层主要制作工艺包括压阻集成工艺和双面Deep ICP刻蚀,并与玻璃衬底阳极键合和上层盖板BCB键合形成可以塑封的三层结构,从而提高加速度计的可靠性.封装以后的加速度计采用落杆方法进行测试,三轴灵敏度分别为2.28,2.36和2.52 μV/g,谐振频率分别为309,302和156 kHz.利用东菱冲击试验台,采用比较校准法测得y轴和z轴加速度计的非线性度分别为1.4%和1.8%. 相似文献
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一种高速直接数字频率合成器及其FPGA实现 总被引:5,自引:1,他引:5
介绍了一种用于QAM调制和解调的直接数字频率合成器,该电路同时输出10位正弦和余弦两种波形,系统时钟频率为50MHz,信号的谐波小于-72dB。输出信号的范围为DC到25MHz,信号频率步长为0.0116Hz,相应的转换速度为20ns,建立时间延迟为4个时种。直接数字合成器(DDFS)采用一种有效查找表的方式生成正弦函数,为了降低ROM的大小,采用了1/8正弦波形函数压缩算法。直接数字频率合成器的数字部分由Xilinx FPGA实现,最后通过数模转换器输出。 相似文献
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用Czochralski方法生长了yb3+ ,Er3+共掺的NaY (WO4)2晶体.测量了晶体在室温下的吸收谱,用Judd-Ofelt理论计算了NaY (WO4)2 :Er3+ ,Yb3+晶体中Er3+的3个唯象强度参量Ω2=18.10×10-20、Ω4=2.59×10-20、Ω6=1.21×10-20和辐射跃迁特征参量.研究了晶体的荧光特性,并在974 nm的LD泵浦下得到上转换绿色荧光.分析了晶体中Yb3+向Er3+传递能量的机制. 相似文献
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氟氧化物玻璃陶瓷中,氟化物微晶被氧化物包围,稀土离子掺杂在氟化物微晶中。它具有较低的声子能量,较好的上转换发光强度,机械性能也比氟化物强。在适当热处理下,微晶处在nm数量级,氟化物仍能保持很高的透明度,从而在上转换设备、三维显示等方面有很好的应用前景。本文主要介绍了该材料的研究进展、机理及前景。 相似文献
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James E. Tyrrell Martyn G. Boutelle Alasdair J. Campbell 《Advanced functional materials》2021,31(1):2007086
Biological environments use ions in charge transport for information transmission. The properties of mixed electronic and ionic conductivity in organic materials make them ideal candidates to transduce physiological information into electronically processable signals. A device proven to be highly successful in measuring such information is the organic electrochemical transistor (OECT). Previous electrophysiological measurements performed using OECTs show superior signal-to-noise ratios than electrodes at low frequencies. Subsequent development has significantly improved critical performance parameters such as transconductance and response time. Here, interdigitated-electrode OECTs are fabricated on flexible substrates, with one such state-of-the-art device achieving a peak transconductance of 139 mS with a 138 µs response time. The devices are implemented into an array with interconnects suitable for micro-electrocorticographic application and eight architecture variations are compared. The two best-performing arrays are subject to the full electrophysiological spectrum using prerecorded signals. With frequency filtering, kHz-scale frequencies with 10 µV-scale voltages are resolved. This is supported by a novel quantification of the noise, which compares the gate voltage input and drain current output. These results demonstrate that high-performance OECTs can resolve the full electrophysiological spectrum and suggest that superior signal-to-noise ratios could be achieved in high frequency measurements of multiunit activity. 相似文献