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101.
MEMS封装技术研究进展   总被引:6,自引:0,他引:6  
介绍了MEMS封装技术的特点、材料以及新技术,包括单片全集成MEMS封装、多芯片组件(MCM)封装、倒装芯片封装、准密封封装和模块式MEMS封装等。文中还介绍了MEMS产品封装实例。  相似文献   
102.
我公司使用天津华特DXDK-70型包装机4台,在生产中出现的主要问题及解决方法作了详尽阐述,以供同行探讨。  相似文献   
103.
用于高频谐振器的PbTiO_3基压电陶瓷   总被引:1,自引:1,他引:0  
传统的PZT压电陶瓷的相对介电常数较大,一般为1 000以上,用于高频谐振器不易与线路匹配;而PbTiO3基压电陶瓷的相对介电常数较小,一般仅为200左右,对于10 MHz以上频率的谐振器,用PbTiO3基压电陶瓷作为压电振子是最佳的选择。本文主要研究用于高频谐振器的MnO2和Nd2O3改性PbTiO3基压电陶瓷的性质。PbTiO3基压电陶瓷的性质的改善是与此种陶瓷的制备工艺,显微结构和电导机制紧密相关的。  相似文献   
104.
Investigation into polishing process of CVD diamond films   总被引:1,自引:0,他引:1  
A new technique used for polishing chemical vapor deposition (CVD) diamond films has been investigated, by which rough polishing of the CVD diamond films can be achieved efficiently. A CVD diamond film is coated with a thin layer of electrically conductive material in advance, and then electro-discharge machining (EDM) is used to machine the coated surface. As a result, peaks on the surface of the diamond film are removed rapidly. During machining, graphitization of diamond enables the EDM process to continue. The single pulse discharge shows that the material of the coated layer evidently affects removal behavior of the CVD diamond films. Compared with the machining of ordinary metal materials, the process of EDM CVD diamond films possesses a quite different characteristic. The removal mechanism of the CVD diamond films is discussed.  相似文献   
105.
106.
改性双马来酰亚胺的研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
本文研究了双马来酰亚胺与烯丙基化合物形成的改性树脂体系的固化和热性能,讨论了单体配比、增韧剂、催化剂对性能的影响。  相似文献   
107.
Cd-ZSM-5沸石催化剂的制备、表征和芳构化催化性能   总被引:3,自引:0,他引:3  
采用离子交换、浸渍和混合三种方法制备镉改性ZSM-5沸石催化剂,考察了改性方法和镉含量对催化剂的表面酸性和Cd状态以及芳构化性能的影响。结果表明,加入镉降低了B酸性,Cd~(2+)与沸石结合形成了L_(1612)酸中心,其生成量取决于改性方法和Cd含量,并与芳构化活性提高有直接关系。  相似文献   
108.
介绍了当前国际上关于微米、纳米技术及其在微型机械、微型机械电子系统以及在专用集成型仪器等方面的应用。  相似文献   
109.
110.
1 INTRODUCTIONParticlesreinforcedtitaniumalloymatrixcomposites(TMCp)havewideapplicationfieldsfortheirattractivehighspecificstreng  相似文献   
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