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使用光强标定的发射光谱(AOES)测量了CHF3/C6H6混合气体的微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体中基团的分布状态。实验发现随着CHF3流量的增加,成膜基团CF、CF2、CH等的相对密度增大,而刻蚀基团F的密度也会增加,从而使得a—C:F薄膜的沉积速率降低。同时红外吸收谱(IR)分析表明,在高CHF3流量下沉积的a—C:F薄膜中含有更高的C—F键成分。可见在a—C:F薄膜的制备中CHF3/(CHF3 C6H6)流量比是重要的控制参量。 相似文献
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ImprovingWearResistanceoftheNibaseThermalSprayWeldingCoatingUsingRareEarthsZhaiGuangjie(翟光杰)(InstituteofPhysics,AcademicaSi... 相似文献
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埋地管道涂层检测技术现状 总被引:3,自引:0,他引:3
李继华 《石油化工腐蚀与防护》1998,15(4):4-6,52
文章对各种埋地管道涂层检测技术进行了综述,并指出了各种技术的优缺点及应用前景. 相似文献
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SiC(w)/TZP+mullite陶瓷复合材料界面和组成设计与力学性能 总被引:2,自引:1,他引:1
本文从理论上分析了SiC(w)TZP+mullite(p)复合材料界面残余热应力及其在基质内的分布规律。提出在SiC(w)表面涂复Al2O3和在PZT中加入mullite(p)联合作用来降低晶须/基质界面残余热应力的界面设计方案,导出SiC(w)和mullite(p)协同补强PZT的匹配条件。制备了SiC(w)/TZP+mullite(p)复合材料并了SiC(w)表面涂层Al2O3厚度和SiC(w 相似文献
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凝汽器铜管FeSO4镀膜监测系统的开发 总被引:1,自引:0,他引:1
为了减缓凝汽器铜管的腐蚀,通常采用FeSO4造膜保护,而FeSO4膜质量很难控制,作者通过凝汽器铜管FeSO4镀膜成膜工艺,影响因素的深入研究,建立了以电化学响应为特征的镀膜控制系统,选择了相应的传感器,形成以计算机处理为核心的监测系统,应用表明,该系统方便,可靠。 相似文献