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131.
对银山铅锌矿井下负荷性质进行了分析 ,根据各种无功补偿装置的技术特点 ,提出采用低压电容动态补偿方式对该矿井下无功进行补偿和降低电压波动。 相似文献
132.
首次应用模糊数学的理论和方法建立了求解电力系统多目标非线性无功优化问题的新模型,使之转换成标准的线性规划问题,并巧妙地引用模拟退火算法,简化了计算,满足了实际工程的需求。 相似文献
133.
134.
InxGa1−xAs-based ohmic contacts which showed excellent contact properties for n-GaAs were demonstrated to be applicable to p-GaAs
ohmic contacts. These contacts, prepared by radio-frequency sputtering, provided low contact resistance (0.2 Ω-mm), excellent
thermal stability, smooth surface, and good reproducibility. The contact resistances had a weak dependence on the annealing
temperatures, which was desirable in a manufacturing view point. This weak temperature dependence was explained to be due
to a unique Schottky barrier height at the metal/p-InxGa1−xAs interface which does not depend on the In concentration in the InxGa1−xAs layer. The present experiment showed the possibility of simultaneous preparation of ohmic contacts for both n and p-GaAs
using the same contact materials. 相似文献
135.
对难熔金属及其硅化物的形成、特性进行了研究。采用溅射难熔金属、热硅化反应的方法,解决了VLSI工艺中由于MOS电路图形尺寸缩小带来的栅电阻增大的问题;采用硅化物阻挡层和A1多层金属布线方法,解决了欧姆接触和铝的电迁移问题。 相似文献
136.
137.
脉冲溅射电源的设计及其应用 总被引:1,自引:0,他引:1
设计研制了脉冲溅射电源并用此电源制备了Al2O3薄膜,实验表明采用脉冲电源可以抑制溅射同的异常放电。 相似文献
138.
139.
粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏传感器 总被引:16,自引:0,他引:16
介绍粉末溅射研制的SnO2/CeO2酒敏薄膜的性能与膜厚、温度和掺杂量等关系的研究结果,并根据此结果对平面薄膜型敏感传感器的工艺和结构进行了设计;介绍了所研制器件的一些性能,并对有关问题进行了讨论。 相似文献
140.
利用RF溅射技术在PCrNi2MoVA基上沉积Ta-10W合金薄膜,利用扫描电镜等分析手段研究了薄膜的沉积速率、断口的组织形貌与沉积参数之间的关系。结果表明,沉积速率随功率的增加而线性增加,随Ar气压强的增加呈非线性增加,基底无论加正偏压还是加负偏压都使沉积速率下降。薄膜的组织形貌随Ar气压强的增加由纤维组织变为粗大锥状晶。气压越高,组织越粗大,孔洞尺寸也越大。基底加偏压使组织细化。 相似文献