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以CaZrO3为原料,利用微波等离子体烧结技术制备高密度的CaZrO3陶瓷。研究了工艺参数对CaZrO3陶瓷结构的影响。测试了CaZrO3陶瓷的性能。结果表明,微波等离子体烧结技术与常规法相比,其烧结时间明显缩短,性能有所改善。而微波功率和压力是获得优质CaZrO3陶瓷的关键。 相似文献
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溶液雾化微波等离子体CVD法制备SrTiO3薄膜 总被引:7,自引:0,他引:7
研究了一种新型高效制备多组分陶瓷薄膜的方法,它采用可溶性无机盐溶液雾化为反应膜,利用微波等离子体化学气相沉积工艺在Al2O3基片上制备了SrTiO3基陶瓷薄膜,实验结果表明,薄膜沉积时衬底温度对成膜的相组成与结构产生重要影响,本实验中当沉积薄膜衬底温度在700℃时,可以制备出单一相组成,符合化学计量比,结晶性较好,晶粒度呈球形且均匀分布的SrTiO3薄膜,通过对不同氧分压下薄膜电阻测试,发现此SrTiO3薄膜在O2 N2气氛中氧浓度由1%变化到20%时,其电阻值由5.0MΩ变化到2.5MΩ,从而显示出一定氧敏性能。 相似文献
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介绍了微波干燥的原理和主要特点,研究了利用微波辐射干燥氟化铝工艺,探讨了微波功率、微波辐射时间、物料质量、物料厚度对氟化铝脱水率的影响。实验的最佳条件为微波功率2.0kW、干燥时间80s、物料质量400g、物料厚度2.0cm。实验结果表明,利用微波辐射干燥,氟化铝含水质量分数小于1%,且干燥时间短、能耗低,实验为工业化提供了必要的参考数据。 相似文献