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71.
Woo-Seok Cheong 《Journal of Electronic Materials》2003,32(4):249-253
For the lowest resistance, it is required to have the epitaxial silicon contact between the silicon plug and the substrate
and good step coverage at the high aspect-ratio contact holes, simultaneously. In this work, a double polysilicon (DPS) deposition
technique was proposed for the requirements. The first, thin silicon layer is deposited in a single-wafer process chamber
with an in-situ H2-RTP (rapid thermal process) treatment for the epitaxial contact, and the second silicon layer is formed in a batch-type furnace
for good step coverage. From chain resistance, Kelvin Rc, and current-voltage (I–V) measurement, the DPS process meets both low resistance and good uniformity, so that it suggests
a breakthrough in the small-sized, semiconductor device application. 相似文献
72.
73.
Chen Bao-ming Zhang Li-qiangDepartment of Air-conditioning Refrigeration Engineering Shandong Institute of Architecture andEngineering Jinan China e-mail:chenbm @ sdai.edu.cnWang Bu-xuanDepartment of Thermal Engineering Tsinghua University Beijing China 《水动力学研究与进展(B辑)》2003,15(6)
The influences of Soret effect and Dufour effect on the natural convection and heat and mass transfer for a porous enclosure were investigated by means of the penalty finite element method. Numerical results indicate that the Soret and Dufour effects have significant influences on heat and mass transfer in the presence of large temperature gradient and concentration gradient. 相似文献
74.
介绍了钒分厂利用正交试验法进行试验方案的设计及试验结果的直观分析,确定出钒渣烙烧的最佳工艺条件是:钒渣粒径小于0.12mm,烙烧气中氧气体积分数大于10%,焙烧温度850℃,烙烧时间60min,碱比(碱与钒渣质量比)16%,盐比(盐与钒渣质量比)5%,从而改变了以往在生产和转渣时组织生产的被动局面,为公司创造了可观的经济与社会效益。 相似文献
75.
76.
C60高性能预拌混凝土的生产及应用 总被引:1,自引:1,他引:0
介绍了C60高性能预拌混凝土的研制及生产应用的过程与方法 ,对材料的性能、搅拌工艺进行了深入分析 ,为生产高强高性能混凝土提供了详细的思路 相似文献
77.
78.
GJ5×2双槽剥片机及其在高岭土剥片中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
GJ5×2大型双槽剥片机是国内超细物料加工中最新出现的超细磨/剥片设备,也是目前国内这一领域内最大规格的设备,已成功应用于煤系硬质高岭土剥片中,单机能力可达1.5~2.0t/h,产品细度可达小于2μm颗粒占85%~90%。 相似文献
79.
Feng‐Ge Wu Fu‐Chun Sun Ke Yu Chang‐Wen Zheng 《International Journal of Satellite Communications and Networking》2005,23(6):359-371
How to evaluate the performance of satellite networks is a prerequisite to the construction of satellite networks, and is also one of challenges in the researches on satellite networks. In this paper, generalized stochastic Petri net (GSPN) models are presented to carry out the performance analysis of a double‐layered satellite network. Firstly, the GSPN model of a double‐layered satellite network is simplified by proper analysis. Then, two sets of experiments are conducted to analyse the performance of the satellite networks, and show that the double‐layered satellite network outperforms single‐layered ones on the heavy traffic load. Finally, the feasibility and effectiveness of the proposed approach is verified by simulation experiments. Copyright © 2005 John Wiley & Sons, Ltd. 相似文献
80.
钻井井架力学性能分析 总被引:7,自引:7,他引:0
钻井井架作为钻机系统设备中的关键部分,其力学性能直接关系到整套钻机系统的安全生产。文章推导了常用于分析钻井井架力学性能的理论,即线性屈曲、几何非线性和双重非线性理论。提出同时用这三种理论对钻井井架进行综合比较分析,从而合理地预见井架力学性能的方法。以A形钻井井架为例,进行了详细的分析,得到了井架的失稳形式、极限承载、破坏特征及薄弱部位,为钻井井架的设计、优化与评定提供了参考。 相似文献