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121.
光刻胶灰化工艺与深亚微米线条的制作 总被引:5,自引:1,他引:4
随着器件尺寸的缩小,细线条的制作成为很关键的工艺,普通光学光刻已接近其分辨率的极限,而电子束光刻和X射线光刻技术复杂、费用昂贵。本文对光刻胶灰化工艺进行了分析和研究,并应用此工艺进行了深亚微米线条的制作,在普通光学光刻机上制作出宽度小于0.25μm细线条。我们已将此工艺成功地应用在深亚微米MOSFET的制作中。 相似文献
122.
利用梯度方向信息的随机Hough变换 总被引:17,自引:0,他引:17
针对随机Hough变换(RHT)在处理复杂图像随机采样造成的大量无效积累提出一种改进的用于直线检测的RHT,较发地解决了无效果累积问题,并使改进后的算法具有计算速度更快,占用内存更少以及检测性能更好等优点。 相似文献
123.
介绍一种用于生产聚氨酯泡沫夹克管保温层的新材料聚酯聚醚,报道选用这种材料生产泡沫夹克管的工艺及工要工艺参数和产品达到的技术指标及现场应用情况。 相似文献
124.
125.
CCD器件已经广泛地应用于各个研究领域中 ,对其信号的具体处理方法是各种各样的。我们针对所研究的对象采取了一定的降低噪声的措施 ,取得了较好的结果 ,本文将对此进行阐述 相似文献
126.
分片汇接的网状网结构是江苏省本地电话网的基本框架,而汇接局和连接汇接局的传输系统则是网路规划与通信建设的重点。 相似文献
127.
Zheng Wen Technological Faculty of Maintenance Engineering Guangzhou University Guangzhou P.R.China 《国际设备工程与管理》1997,(3)
VibrationMonitoringandDiagnosisofPipelinePumpsonOfshorePlatformsZhengWenTechnologicalFacultyofMaintenanceEngineringGuangzhou... 相似文献
128.
本文提出了用一个标样进行系列试样 X 射线定量相分析的方法.它克服了一般 X 射线定量方法需要混合研磨和手续烦复的缺点以及无标样 X 射线定量方法存在病态方程不易解决的问题.该方法对常规 X 射线定量分析具有普遍的实用性. 相似文献
129.
介绍了平煤集团一矿在戊8— 310 40综合机械化采煤工作面开切眼实施煤巷锚网支护的基本情况。总结了经验 ,为同类条件下的锚网支护设计提供了依据。 相似文献
130.