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用于铜的化学机械抛光液的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
文中介绍了一种以碱性抛光液对铜进行全局平面化的方法 ,讨论了以 Si O2 水溶胶为磨料的抛光液在Cu-CMP过程中的化学 (络合 )作用及反应机理 ,并给出了抛光液的配比及上机实验结果。结果表明 :该抛光液用于对带有阻挡层和介质层的铜抛光 ,达到了对铜层的高去除速率和高选择比 ,取得了较好的全局平面化效果 相似文献
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本文以动理学理论的Boltzmann方程为基础,考虑明渠湍流床面附近猝发喷射和清扫运动对跃移层内运动颗粒的不同作用,分析了明渠中泥沙颗粒浓度垂线分布问题,得到了适用于包括跃移层、悬移层在内的统一浓度垂线分布公式。文中着重研究了跃移层内运动颗粒的浓度垂线分布,并将本文结果与实测跃移层内浓度垂线分布及实测跃移层顶部浓度进行了对比,结果表明理论与实验两者符合较好。 相似文献
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EXPERIMENTAL INVESTIGATIONS ON DIFFUSION CHARACTERISTICS OF HIGH CONCENTRATION JET FLOW IN NEAR REGION 总被引:3,自引:2,他引:1
Zhang Yan Wang Dao-zeng Fan Jing-yu Shanghai University Shanghai Institute of Applied Mathematics Mechanics Shanghai China 《水动力学研究与进展(B辑)》2001,(1)
1 . INTRODUCTIONTheresearchofjetisanimportantfieldinfluidmechanics.Italsohasmanyapplicationsinengineering ,forexample ,thedischargeofpollutantandcoolingwaterinindustries .Whentheinitialdensityofthejetisdifferentfromthatoftheambientwaterbody ,thejetwillbeaf… 相似文献
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ˮ�ཬ������������Ƽ�����Ľ�������о� 总被引:2,自引:1,他引:1
解决注水泥作业的防气窜问题,是提高固井质量,保护油气层的关键技术。现有预测和防止水泥浆气管理的方法虽然较多,但应用于现场却有一定困难,主要表现在所考虑的因素比较单一,有些高温、高压下的水泥浆性能参数难以测定。文章在分析国内外预测和防止气窜方法的基础上,应用水泥浆浆体在环空的组成,GFP系数、水泥浆稠度阻力系数(A)及多凝水泥和环空加压等措施,拟定出一套提高水泥浆顶替效率,保证水泥浆动态和静态过程压力平衡关系的具体设计方法。 相似文献
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水性聚氨酯电导率与聚沉值的研究 总被引:4,自引:0,他引:4
研究了软(硬)段含羧基的水性阴离子纳米聚氨酯体系的n(NCO)/n(OH)比值,COOH的质量分类,反离子各类,合成方法与电导率关系及产生的原因;探讨了该体系的n(NCO)/n(OH)值,COOH的质量分数,合成方法与临界聚沉值(Cc.c)的关系和规律。并分析,比较了软(硬)段含羧基的水性阴离子聚氨酯体系电导率与Cc.c二者关系,得出了随COOH的质量分数升高,二者变化相同,随n(NCO)/n(OH)比值升高,二者变化相反的结论。 相似文献
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介绍65t/h煤粉炉的基本概况和存在的问题,详细阐述了采用水平浓缩煤粉燃烧技术对原燃烧器的改造过程,对改造前后运行参数及经济效益进行了对比。 相似文献