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81.
X射线光刻掩模背面刻蚀过程中的形变仿真   总被引:1,自引:0,他引:1  
开发了理论模型以验证有限元方法用于X射线光刻掩模刻蚀过程数值仿真的正确性。利用相同的有限元技术,对X射线光刻掩模的背面开窗、Si片刻蚀过程进行数值仿真。结果表明,图形区域的最大平面内形变(IPD)出现在上、下边缘处,最大非平面形变(OPD)出现在左、右边缘处。此外对Si片单载荷步刻蚀和多载荷步刻蚀的仿真进行比较,结果表明图形区域最终的形变量与Si片刻蚀的过程无关。  相似文献   
82.
一种基于空间到达角的卫星电子侦察信号分选方法   总被引:1,自引:0,他引:1  
在建立简化的卫星电子侦察空间模型的基础上,提出了一种利用空间到达角分选卫星电子侦察信号的新方法。通过仿真实验验证了这种方法的可行性。该方法可用于密集信号的预处理。  相似文献   
83.
84.
在光学系统中特别是反射系统中经常通过加无光焦度校正板来减少或消除其他元件所产生的像差。讨论了双贴合无光焦度校正板放在主镜前的双反射球面系统,根据像差理论分析了消像差的条件,研究了系统中各种参数的变化对系统高级残余像差的影响。结果表明主镜的相对孔径越大,系统的残余像差增加;正透镜在前的校正板结构优于负透镜在前的结构;选择合适的校正板单透镜的光焦度,可使系统的高级残余像差最小。  相似文献   
85.
Flow-mode static and dynamic laser light scattering (SLS/DLS) studies of polymers, including polystyrene, polyethylene, polypropylene and poly(dimethylsiloxane) (PDMS), in 1,2,4-trichlorobenzene (TCB) at 150 °C were performed on a high temperature gel permeation chromatography (GPC) coupled with a SLS/DLS detector. Both absolute molecular weight (M) and molecular sizes (radius of gyration, Rg and hydrodynamic radius, Rh) of polymers eluting from the GPC columns were obtained simultaneously. The conformation of different polymers in TCB at 150 °C were discussed according to the scaling relationships between Rg, Rh and M and the ρ-ratio (ρ=Rg/Rh). Flow-mode DLS results of PDMS were verified by batch-mode DLS study of the same sample. The presented technique was proved to be a convenient and quick method to study the shape and conformation of polymers in solution at high temperature. However, the flow-mode DLS was only applicable for high molecular weight polymers with a higher refractive index increment such as PDMS.  相似文献   
86.
基于模式理论光栅椭偏参数反演的数值模拟   总被引:5,自引:2,他引:3  
将一种广泛用于求解系统优化问题的方法——正单纯形法,求解光栅的椭偏方程。首先,利用求解光栅的傅立叶模式理论对TE和TM波的复反射系数进行求解。然后计算出其相应的椭偏参数(△,Ψ),并在该值的基础上加入不同偏差的随机高斯噪声,将加入噪声后的值(△m,Ψm)作为模拟测量值。最后使用优化算法进行反演。通过对几种常用面形光栅椭偏参数的数值模拟,一方面表明傅立叶模式理论计算光栅的椭偏参数不仅精度高。而且速度快;另一方面表明利用正单纯形法得到的光栅参数值很接近于正演时假设的参数值,从而从理论上证明了利用椭偏法测量光栅各种光学参数的可行性。  相似文献   
87.
An analysis is made of the characteristic features and problems of the optimal processing of the results of measurements in the case of a random observation function utilizing a nonlinear Kalman filter. A method is proposed for increasing the convergence domain of the filter with additional processing of measurements in the frequency domain.  相似文献   
88.
认为注采井网井距大,水驱控制程度差,采收率偏低是影响胜利油田现河低渗透油藏开发的关键,通过井间密度与水驱控制程度和采收率的关系等分析,提出了现河低渗透油藏开发的合理的井网密度。  相似文献   
89.
基于支持向量机的多类分类研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
牛兴霞  杨奎河 《信息技术》2006,30(11):19-23
现今流行的分类方法的重要基础是传统的统计学,前提是要有足够的样本,当样本数目有限时容易出现过学习的问题,导致分类效果不理想。引入支持向量机方法,它基于统计学习理论,采用了结构风险最小化原则代替经验风险最小化原则,较好的解决了小样本学习的问题;又由于采用了核函数思想,把非线性空间的问题转换到线性空间,降低了算法的复杂度。对其相关内容包括优化算法及多类分类问题的解决进行了研究,最后用一个实例说明了该方法的可行性和有效性。  相似文献   
90.
After considering Kerr nonlinear effect,group velocity dispersion of host and gain distribution of active particle in laser amplifying medium,a basic equation describing propagation of the coupling optical pulse under the multi-photon nonlinear Compton scattering in the laser amplifying medium has been deduced. Besides,the profile and power spectrum of a picosecond-level super-Gaussian coupling pulse in the laser amplifying medium have been discussed when its central frequency coincides with the gain peak frequency of the laser amplifying medium.  相似文献   
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