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为了保证上海光源X射线干涉光刻光束线的稳定性,减小热变形对实验结果的影响,对X射线干涉光刻光束线的3个关键光学元件——偏转镜、聚焦镜和精密四刀狭缝进行热-结构耦合分析。首先,计算偏转镜、聚焦镜和精密四刀狭缝所承载的功率密度;然后,建立其有限元模型;最后,获得光学元件的温度场和热变形的结果。结果表明,偏转镜和聚焦镜采用间接水冷方式可有效抑制热变形,冷却后的最大面形误差分别为7.2μrad和9.2μrad。精密四刀狭缝未冷却时,刀片组件温度介于271.56~273.27℃,刀口热变形为0.19 mm,直线导轨热变形为0.08 mm;经过铜辫子冷却后,刀片组件温度降至22.24~23.94℃,刀口热变形降至0.2μm,直线导轨热变形降至0.1μm;采用影像法和接触探头法测试后,刀口直线度、平行度和重复精度均满足技术要求。偏转镜、聚焦镜和精密四刀狭缝的热变形通过间接水冷和铜辫子的冷却方式可以得到很大程度的抑制,进而保证光斑质量。 相似文献
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对宝山铅锌银矿石原矿性质、工艺流程、药剂制度及技术指标情况进行了介绍,指出了存在粉矿粒度过粗、磨矿效果不佳、金银回收率过低、矿种变化频繁及原矿品位波动大等问题,同时从降低粉矿粒度、完善磨矿自动化、浮选采用X荧光在线分析仪,有效回收金银矿物、合理配矿等方面,提出了解决问题的对策。 相似文献
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张文翰 《武汉纺织大学学报》2015,(2)
新农村民居建设的现状是,风格千篇一律,布局不尽合理,功能不够齐全,外观造型既不美观又无特色。
本文探索楚地新农村建筑设计与干阑民居建筑形式的有机结合,使农村新民居建设具有现代气息,同时又能承载
传统文化,并体现田园风光特色和建筑形式美感;在建筑材料的选择与使用上,更好地遵循节能性与环保性原则。 相似文献
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欺骗式干扰通过发射与真实卫星信号相似的信号误导接收机产生错误的定位结果,具有极大的危害。该文针对转发式欺骗干扰,提出一种基于信号重构的单天线欺骗干扰抑制方法。该方法首先通过参数估计方法估计出欺骗信号载波频率和码相位,然后构建欺骗信号子空间正交投影矩阵以抑制干扰。仿真实验结果表明该方法对欺骗干扰具有良好的抑制效果,能够保障接收机在干扰环境中实现有效定位,并具有较低的运算复杂度。 相似文献
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苗静 《西安工业大学学报》2015,(1):15
<正>为读者阅览起引导作用,又为文献汇编、计算机储存、检索做好准备,成为科技情报的重要来源.美国工程信息公司中国信息部吕萍主任认为被Ei检索的科技论文的中英文摘要在写作时应注意的要点包括:中文摘要:1尽量简短、开门见山.不写课题研究的背景信息和在第一句话中重复题目或题目的一部分;2包含正文的要点.重点内容,试验研究的方法、设备、材料等均不能漏掉 相似文献