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研究了采用感应耦合等离子体-原子发射光谱技术表征高剂量氧注入单晶硅制备SIMOX-SOI材料过程中金属杂质污染的有效性.同时研究了采用强酸清洗、加SiO2膜覆盖等方法对降低污染程度的效果.利用ICP技术可以对大面积或整个硅片进行采样,检测结果是一种整体的平均效果.采用强流氧注入机进行高剂量氧注入,发现金属杂质污染元素主要是Al、Ar、Fe、Ni;注入后强酸清洗样品可有效降低Al污染;60nm厚的二氧化硅注入保护膜可阻挡一半的上述金属污染. 相似文献
53.
部件试验模态综合的简便方法 总被引:4,自引:1,他引:3
本文将一种基于完备模态基的模态综合技术应用于子结构的试验模态综合,获得成功。这种半试验半理论的模态综合方法是一种较为简便的、要求试验工作量较小的试验模态综合法,因为它只要求测量子结构的振动模态和频率即可。数值仿真结果表明,这种简便的试验模态综合法是行之有效的。 相似文献
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电荷耦合图像传感器在细线直径测控系统中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
张士勇 《工业仪表与自动化装置》2003,(4):31-32
文中给出了一个以氟化氪固体激光器做光源,以电荷耦合图像传感器为光屏,应用夫朗禾费衍射原理,实现对细丝直径在线检测自动控制。该方案对相关企业质量控制的自动化是有意义的。 相似文献
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一、前言 抗式消声器主要利用声抗的突变使声波反射,达到消声的目的。其基本结构形式有扩张式、共振式等。随着对消声器性能要求的不断提高,抗式消声器的结构形式也日趋复杂。通常是针对消声对象的频谱特性,采用多级扩张室和多个共振腔合理有机的结合方法,取得良好的消声效果。 相似文献
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《通信业与经济市场》2006,(8):68-70
1、如何测量直流电压?答:需要设置耦合方式为直流,根据大概的范围调节垂直档位到一个合适的值,然后比较偏移线跟通道标志的位移。 相似文献
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LTCC双波段定向耦合器设计与分析 总被引:1,自引:0,他引:1
文中介绍了双频手机前端用的LTCC定向耦合器的工作原理及其结构形式,并就其设计要求从LTCC微带结构和微波耦合特性两个方面进行系统分析。 相似文献
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镉(Cd)是一种被国际癌症研究机构归类为已知的人类致癌物质(Class 1),也是烟草制品中潜在的致癌物质之一。在诸如烟草(Nicotiana tabacum L.)之类的作物植株中镉的积聚可导致人类接触到镉金属。利用感应耦合等离子体-质谱法,我们对来自不同国家的3种主要烟草种类(烤烟,自肋烟和香料烟)的755个烟叶样本中的镉含量进行了测定。其目的是对来自不同地理区域的烟叶中的镉积聚模式进行鉴别。 相似文献