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71.
Pad effects on material-removal rate in chemical-mechanical planarization   总被引:1,自引:0,他引:1  
The role of a porous pad in controlling material-removal rate (MRR) during the chemical-mechanical planarization (CMP) process has been studied numerically. The numerical results are used to develop a phenomenological model that correlates the forces on each individual abrasive particle to the applied nominal pressure. The model provides a physical explanation for the experimentally observed domains of pressure-dependent MRR, where the pad deformation controls the load sharing between active-abrasive particles and direct pad-wafer contact. The predicted correlations between MRR and slurry characteristics, i.e., particle size and concentration, are in agreement with experimentally measured trends reported by Ouma1 and Izumitani.2  相似文献   
72.
已二醇二丙烯酸酯对真丝的接枝改性研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
研究了用二醇二丙烯酸酯为接枝单体、过硫酸铵(APS)为引发剂对真丝的接枝共聚反应,分析了接枝率的影响素,并测试了改性真丝的主要应用性能。结果表明:乳液和乙醇/水为溶剂的2种体系都能在真丝上获得较高接枝率。对于乙醇/水体系v(乙醇):v(H2O)=1:1,接枝单体20~30g/L,2%甲酸4ml,引发剂APS 0.5g/L,65~70℃接枝60min的接枝率高。改性后真丝的断裂强度、延伸度、吸湿性能都可获得改善,对酸、碱的溶解性提高,但染色性能提高不明显,对泛黄性改善一般。  相似文献   
73.
秦山核电厂气载放射性释放的环境影响   总被引:3,自引:1,他引:2  
本文评价了秦山核电厂气载放射性流出物对环境的影响。应用现场及风洞大气扩释实验结果和厂址周围的人口与食谱调查资料,估算了秦山核电厂在正常运行和事故条件下释放的气载放射性流出物对公众产生的个人有效剂量当量和集体有效剂量当量。计算结果表明,正常运行时厂址边界(0.5km)处的最大个人有效剂量当量为2.7×10~(-2)mSv/a,该剂量的大部分来自~(137)Cs 的食入(主要由地表湿沉积引起);80km 范围内的集体有效剂量当量为1.1人·Sv/a,归一化集体有效剂量当量为3.7人·Sv/GW(e)·a。文中还给出了事故情况下剂量估算结果。  相似文献   
74.
钛合金的银脆,镉脆敏感性及其控制   总被引:4,自引:0,他引:4  
刘道新  何家文 《材料工程》1998,(8):20-23,27
利用慢应变速率拉伸技术(SSRT),并结合恒载实验,较全面地研究了Ti-6Al-4V合金的银脆行为、固态与液态镉脆行为,确定了应变速率、接触条件、热处理制度、试样取向、温度等因素对Ti-6Al-4V合金银脆与镉脆敏感性的影响,探讨了Ni阻挡层对控制Ti-6Al-4V合金和TC11合金银脆开裂的作用。  相似文献   
75.
为探索山丘地区中小型泵站技术改造的经验,选定南康县四个小型泵站作为泵站改造的试点站,进行现场测试,根据测试成果,分析各站存在的问题及效率偏低的原因,并拟定各站技术改造的措施,经实施后取得了较好的效果,本文就南康县泵站改造的实际效果阐明泵站改造的必要性及其改造过程中值得注意的问题。  相似文献   
76.
Optimizing of laminar viscous flow through a pipe by two dimensionless values is investigated analytically. Dimensionless entropy generation and pumping power to heat transfer rate ratio are used as basis for constant viscous and the temperature dependence on the viscosity. For this matter we calculate entropy generation and pumping power for a fully developed in a pipe subjected to constant wall temperature for either constant viscosity and the variable viscosity. The variation entropy generation increase along the pipe length for viscous fluid is drawn, either the variation summation dimensionless entropy generation and the pumping power to heat transfer rate ratio are varying the fluid inlet temperature for fixed pipe length and are varying pipe length for fixed fluid inlet temperature are drawn. For low heat transfer conditions the entropy generation due to viscosity friction becomes dominant and the dependence of viscosity with the temperature becomes essentially important to be considered.  相似文献   
77.
辽宁省是水资源严重短缺的省份之一,水资源不足已成为制约全省经济社会可持续发展的瓶颈。通过对全省大型取用水户的调查分析,找出了辽宁省节水工作中存在的问题,提出了节约用水工作的对策和建议。  相似文献   
78.
The medium coking coal fines of − 0.5 mm from Jharia coal field were taken for this investigation. The release analysis of the composite coal reveals that yield is very low at 10.0% ash, about 25% at 14% ash and 50% at 17% ash level. The low yield is caused by the presence of high ash finer fraction. The size-wise ash analysis of − 0.5 mm coal indicated that − 0.5 + 0.15 mm fraction contains less ash than − 0.15 mm fraction. Thus, the composite feed was split into − 0.5 + 0.15 mm and − 0.15 mm fractions and subjected to flotation separately. The low ash bearing fraction (− 0.5 + 0.15 mm) was subjected to two stages collectorless flotation to achieve the concentrate with 10% ash. The cleaner concentrate (18.9%) with 10% ash was recovered which has an application in metallurgical industries. The concentrate of 30.2% yield with 12.5% ash could be achieved in one stage collectorless flotation which is suitable for use in coke making as sweetener. As the − 0.15 mm fraction contains relatively high ash, collector aided flotation using sodium silicate was performed to get a concentrate of 23.6% yield with about 17% ash. The blending of this product with cleaner tail obtained from − 0.5 + 0.15 mm produces about 35.0% yield with 17% ash and that can be utilized for coke making. The reject from the two fractions can be used for conventional thermal power plant or cement industries using a 23.5% ash after one stage collector aided flotation and the final tailings produced content ash of 61.6% can be used for fluidization combustion bed (FBC). This eventually leads to complete utilization of coal.  相似文献   
79.
ODLC是当今用户接入网的新型设备,它一方面可取代端局,解决通信线路紧张和远距离大容量放号问题,另一方面也可满足日益增多的增值业务的需求。本文ODLC技术的基本原理,结合目前国内外常见ODLC系统,总结和对比了其基本特点,优势,并指明ODLC的技术发展方向和中国应用的前景。  相似文献   
80.
采用信息融合技术的IR/MMW复合导引头的目标跟踪   总被引:2,自引:0,他引:2  
从误差测量环节入手,基于IR/MMW双模结构,采用信息融合处理技术提高其估计跟踪精度,最终达到降低制导误差,提高武器性能的目的,仿真结果验证了该方法的有效性。  相似文献   
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