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使用光强标定的发射光谱(AOES)测量了CHF3/C6H6混合气体的微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体中基团的分布状态。实验发现随着CHF3流量的增加,成膜基团CF、CF2、CH等的相对密度增大,而刻蚀基团F的密度也会增加,从而使得a—C:F薄膜的沉积速率降低。同时红外吸收谱(IR)分析表明,在高CHF3流量下沉积的a—C:F薄膜中含有更高的C—F键成分。可见在a—C:F薄膜的制备中CHF3/(CHF3 C6H6)流量比是重要的控制参量。 相似文献
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通过本钢5#高炉液压泥炮的技术改造实践,阐述了斜底座式液压泥炮在大型高炉上的应用情况,并且进一步对SGXP—400液压泥炮的某些性能特点及其液压系统进行了分析。 相似文献
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试述法国TECHMETA公司产的CT4型横拼双金属专用真空电子束焊机原理与构造,其中主要阐述电子枪控制电路板的原理。 相似文献
27.
介绍侯马冶炼厂奥斯麦特熔炼炉3次炉渣恶化的原因,采取的措施和结果。粉煤灰积存,生料堆积和风料比失当造成炉渣SiO2含量升高,Fe含量降低是炉渣恶化的主要原因,添加高铁造渣成分调整渣组成或不加料浸沿喷枪正常熔炼状态操作,将生料中的铁氧化造渣,提高炉温,改善炉渣性质,使炉况恢复正常。 相似文献
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An electron Penning-Malmberg trap,which can confine an electron column and provide a good platform to investigate the cross-filed transportation of strongly magnetized electron plasma ,has been set up.With the device,an electron plasma with a density of 10^7 cm^-3 can be confined for a relatively long time.The structure of the trap,electron source,as well as the way how th measure electron plasma density profile and velocity distrbustion are introduced in detail. 相似文献
29.
聚醚醚酮及其复合材料的摩擦学研究进展 总被引:11,自引:0,他引:11
评述了聚醚醚酮(PEEK)及其复合材料的摩擦磨损性能,在滑动过程中形成的摩擦转移膜以及磨屑的研究,总结了聚合物基复合材料摩擦学研究的一般方法及规律,介绍了关于用PEEK复合材料制造的轴承,齿轮等进行的摩擦学研究,以及等离子体表面处理和颗粒增强对PEEK及其复合材料摩擦学性能的影响。 相似文献
30.
高压脉冲放电处理含氰废水的影响因素探讨 总被引:6,自引:0,他引:6
焦化废水中含有大量的氰化物,必须采取有效措施进行去除,传统去除方法运行成本高、操作复杂。提出了用高压毫微秒脉冲产生的非平衡等离子体处理含氰废水的方法,对其影响因素pH值、放电时间、气流量、放电条件等进行了大量的实验研究,结果表明:溶液初始pH值为9.09,放电2 h,放电电压46 kV时氰化物的去除率最高可达93.2%,氰化物质量浓度可降至0.26 mg/L。实验对比了放电与不放电氰化物的去除效果:相同条件下放电后氰化物的去除率大大提高,为焦化废水中氰化物的去除提出了一种新的方法。 相似文献