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51.
田清华 《激光与红外》1994,24(1):9-13,8
综述了国外离子束刻蚀和沉积系统的研究进展,指出了离子束系统在半导体技术研究,开发和生产中的重要性。  相似文献   
52.
离子注入对Cr12MoV钢表面组织结构和力学性能的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
研究了Cr12MoV钢离子注入层的显微组织特征及其对表面性能的影响。结果表明,离子注入使Cr12MoV钢的表面硬度和耐磨性能得到显著改善,且存在着一个最佳的注入剂量,约为3×10^1^7N^+/cm^2左右。离了注入在Cr12MoV钢表面层中形成了大量细小弥散的第二相粒子,并使α-Fe晶格发生严重畸变,从而引起材料表面强化。  相似文献   
53.
利用通用离子公司(GIC)的4117型1.7MVTandetron离子束分析设备进行MeV级离子注入。所注入的离子能量范围由500keV到10MeV,离子的质量在240u以下,某些元素的负离子束流强度在150μA以上。双向机械扫描技术可将离子均匀地注入样片。  相似文献   
54.
二次离子质谱(Secondary ion mass spectrometry,简称SIMS)是一种对表面灵敏的质谱技术,建立在表面各种类型带正、负电荷原子或分子发射的基础上。用飞行时间(Time of flight,简称TOF)仪器对这些二次离子进行质量分析,能确保并行质量登录、高质量范围、高流通率下的高分辨和精确质量测定这些优异性能。配合细聚焦扫描一次离子束,可在优于1nm的高深度分辨和优于50nm的横向分辨本领下,实现对表面优于单层ppm(百万分之一)量级的极高检测灵敏度。当今TOF-SIMS已发展为一种成熟且完善的表面分析技术。极高的灵敏度,再加上即使对大分子及不易挥发性分子都独具的敏感性,使它成为很多高技术领域不可缺少的分析手段,这些领域包括微电子学、化学和材料科学以至纳米技术和生命科学等。本文简述了TOF-SIMS的原理、仪器及其多方面的应用和展望。  相似文献   
55.
锂离子电池正极材料锂锰氧化物的固相合成研究进展   总被引:5,自引:0,他引:5  
李运姣  常建卫  杨敏 《功能材料》2002,33(6):578-580
阐述了固相合成反应的原理,综述了锂锰氧化物的几种固相合成方法,并着重介绍了熔融渍法,多步加热法,机械化学法和微波化学法等在锂锰氧化物合成中的研究进展。  相似文献   
56.
硫脲树脂对Cu~(2+)吸附性能研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
考察了不同吸附时间、pH值和吸附温度下,聚对苯甲酰基硫脲树脂和聚酯基硫脲树脂对Cu2+的吸附性能影响;并对吸附动力学和热力学进行了研究。  相似文献   
57.
It has been revealed, that in Ir subjected to severe plastic deformation, an ultrafine grained structure (UFG) is formed (the grain size of 20-30 nm). Practically no defects have been detected within the grains, while, in the case of Ar+ implantation, the subgrain structure with characteristic sizes of about 3-5 nm is formed; defects have been detected within subgrains.The subgrain structure was also revealed in UFG Ni and Cu after severe plastic deformation (SPD) (subgrain size of 3-15 nm), but in the latter case the observed boundary region is broader and subgrain is highly disoriented.  相似文献   
58.
We have developed a diffusion-controlled size-selective method for sensing chloride ion in the presence of bromide ion, based on a thin, nanoporous, plasma-polymerized coating of hexamethyldisiloxane on an Ag/AgCl electrode. Sub-nanometer-sized pores responsible for a highly cross-linked polymer network in the plasma-polymerized coating allowed diffusion-controlled permeation of chloride ion while blocking the larger bromide ion. An electrode coating of thickness greater than 70 nm enabled chloride detection in the concentration range 1-10 mM in the presence of 0.63 mM bromide ion. Advantages of this approach are: (1) simple design compared with ionophore-based strategies and (2) compatibility with microfabrication and mass production processes.  相似文献   
59.
K. Pyszniak  M. Turek  A. Wójtowicz 《Vacuum》2007,81(10):1145-1149
The paper presents experimental results of secondary ion energy distributions obtained for Ti and Si targets bombarded by 20-30 keV monoisotope Ar+ ion beam. The influence of the extraction voltages between target and a slit of the electrostatic energy analyzer entrance on the energy distributions of secondary ions was investigated. After optimization of the secondary ion extraction system, the mass spectra of secondary ions were also measured. The investigations were done using recently built experimental system. Experimental data are compared with the computer simulation results obtained using TRQR and SATVAL codes.  相似文献   
60.
袁茂强  曾雪 《中国钼业》2003,27(3):19-21
对传统的钼酸铵溶液净化工艺及文献介绍工艺进行了较为详细的分析 ,并与实验数据对比分析 ,找到了较为合理的工艺方案  相似文献   
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