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1.
2.
Xiang Lu S. Sundar Kumar Iyer Jin Lee Brian Doyle Zhineng Fan Paul K. Chu Chenming Hu Nathan W. Cheung 《Journal of Electronic Materials》1998,27(9):1059-1066
We have demonstrated feasibility to form silicon-on-insulator (SOI) substrates using plasma immersion ion implantation (PIII)
for both separation by implantation of oxygen and ion-cut. This high throughput technique can substantially lower the high
cost of SOI substrates due to the simpler implanter design as well as ease of maintenance. For separation by plasma implantation
of oxygen wafers, secondary ion mass spectrometry analysis and cross-sectional transmission electron micrographs show continuous
buried oxide formation under a single-crystal silicon overlayer with sharp Si/SiO2 interfaces after oxygen plasma implantation and high-temperature (1300°C) annealing. Ion-cut SOI wafer fabrication technique
is implemented for the first time using PIII. The hydrogen plasma can be optimized so that only one ion species is dominant
in concentration and there are minimal effects by other residual ions on the ion-cut process. The physical mechanism of hydrogen
induced silicon surface layer cleavage has been investigated. An ideal gas law model of the microcavity internal pressure
combined with a two-dimensional finite element fracture mechanics model is used to approximate the fracture driving force
which is sufficient to overcome the silicon fracture resistance. 相似文献
3.
4.
5.
报道了一种新型高灵敏浸没型HgCdTe红外探测器的研制,获得了D^*=1.46×10^11cmHz^1/2W^-1,R=608V/W,λc(20%)-20μ,灵敏元面积A=0.12×0.12mm^2,和有效通光孔径ψ=6mm的浸没型器件。 相似文献
6.
用EGS4分析9MeV行波直线加速器屏蔽系统 总被引:1,自引:0,他引:1
采用了国际上广泛使用的MonteCarlo模拟计算程序EGS4对海关集装箱检测系统用加速器屏蔽系统进行了辐射模拟分析,与实际测试数据进行分析、比较,解释了特殊剂量分布的原因,提出了系统改进的参考方案。 相似文献
7.
Zr41.5Ti14Cu13Ni10Be22.5大块非晶的耐蚀性能 总被引:3,自引:0,他引:3
秦秀娟 《腐蚀科学与防护技术》2003,15(1):52-53
用浸泡法研究了ZrTiCuNiBe大块非晶合金在酸、碱、
盐各种腐蚀性介质中的腐蚀行为.并与典型材料做了比较,结果表明:ZrTiCuNiBe大块非晶合金具有良好的耐蚀性. 相似文献
8.
Cu-Ce-Mn-O/SiO_2/CC作催化剂还原脱除NO研究 总被引:1,自引:0,他引:1
以硅胶改性堇青石蜂窝陶瓷为载体,分别制备了3种不同CuO负载量的Cu-Ce-Mn-O/S iO2/CC催化剂。以CO(NH2)2为还原剂,在固定床反应器中进行选择性催化还原NO的研究。采用XRD、SEM、TPR等测试方法对催化剂进行表征。结果表明,在300~500℃CuO负载量为33%的Cu-Ce-Mn-O/S iO2/CC催化剂效果最好。反应温度为450℃,空速为8 000 h-1时催化剂催化还原NO的转化率可达到88%。 相似文献
9.
A new robust adaptive control of uncertain nonlinear systems is proposed in this paper. The proposed method combines sliding mode control with the immersion and invariance (I&I) adaptive scheme, and it has more available degrees of freedom than using the backstepping scheme. Via the proposed method, a class of nonlinear systems with mismatched parametric perturbations can be rendered asymptotically stable and the performance of the system can also be improved. Finally, the proposed method is applied to a simple pendulum with motor dynamics, and simulation results show the effectiveness and performance of the proposed method. 相似文献
10.
介绍一次性使用无菌注射器用橡胶塞的化学分析方法。在适宜的酸度条件下,用碘量法测定易氧化物;重金属含量通常是测其硫化物的含量来判定的,本方法是采用硫代乙酰胶试剂作沉淀剂;锌离子能与亚铁氰化钾溶液及应生成白色络合物沉淀,因此采用亚铁氰化钾比浊法测其锌含量;利用硫氰酸铵比色法测其铁含量。本方法操作具体,比色明显、定量明确,对试样的测定得到了满意的结果。 相似文献