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HUANG Ru WU HanMing KANG JinFeng XIAO DeYuan SHI XueLong AN Xia TIAN Yu WANG RunSheng ZHANG LiangLiang ZHANG Xing & WANG YangYuan 《中国科学F辑(英文版)》2009,(9):1491-1533
It is predicted that CMOS technology will probably enter into 22 nm node around 2012. Scaling of CMOS logic technology from 32 to 22 nm node meets more critical issues and needs some significant changes of the technology, as well as integration of the advanced processes. This paper will review the key processing technologies which can be potentially integrated into 22 nm and beyond technology nodes, including double patterning technology with high NA water immersion lithography and EUV lithography, new devi... 相似文献
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C语言是许多高校开设的第一门程序设计语言,使用方便灵活。根据C语言的特点,并结合实际教学,对在编程中经常遇到的错误进行分析、总结,为初学者尽快掌握C语言,提高程序设计水平提供借鉴。 相似文献
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