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本对气相沉积技术的发展与最新趋势给出了述评，重点强调了等离子体辅助化学气相沉积（PCVD）的优势，进展及其在工模具领域的应用。 相似文献
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碳/碳复合材料CVI工艺中热解碳形成机理的研究 总被引：1，自引：1，他引：0
对碳碳复合材料CVI或（CVD）工艺中热碳组织的类型，沉积机理等研究情况进行了简要的综述，并对其进一步研究提出了相应观点。 相似文献
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