LB技术制备大面积超薄PMMA抗蚀层的研究

采用自行研制的ＬＢ自动提膜装置，制备出大面积（１０×８ｃｍ２）、高质量的ＰＭＭＡ超薄抗蚀剂膜，并将其用于高分辨率铬掩模版的研制。通过电子束曝光，湿法蚀刻，制作了分辨率优于０．５μｍ，特征线宽０．３８μｍ的４（１００ｍｍ）铬掩模版。     

柔性制造系统的负荷分配及路径规划方法

柔性是柔性制造系统（ＦＭＳ）的一个基本优点，但这一基本优点却往往被人们忽视，许多现在运行的ＦＭＳ不是缺乏柔性，就是没能充分利用可获得的柔性来提高生产效率。柔性制造系统的负荷分配和路径规划问题正是这种柔性的一个主要方面，然而，路规划决策却往往被。其中一个主要原因人们仍不能从传统的生产管理概念中解放出来。本文在明确概念区分的基础上，提出了一种柔性制造系统的负荷分配和路径规划的线性规划模型，其主要特点是     

冲模设计与制造技术讲座（9）：冲裁模的类型,结构及设计

冲模设计与制造技术讲座（９）冲裁模的类型、结构及设计机械部第十一设计研究院张正修（西安７１００８２）４单工序落料模和冲孔模的结构设计４．１落料模该冲模的主要结构特点是：（１）采用导板式，省了模架。凸模的导向靠导板件７。（２）安装了一套自动挡料机构，可...