薄膜单晶硅有源矩阵液晶显示器

从分析有源矩阵液晶显示器的发展形势出发，着重介绍了薄膜单晶硅有源矩阵液晶显示器的优势和和制作过程，指出这种显示器目前有投影显示和小尺寸显示方面有较好的市场前景。     

利用氟化气体和氧气的混和物进行SiC薄膜的反应离子刻蚀

本文研究了在ＳＦ６，ＣＢｒＦ３和ＣＨＦ３与氧相混合的几种氟化气体等离子体中，ＳｉＣ薄膜反应离子刻蚀（ＲＩＥ）的深度。通过监测射频等离子体的光发射谱及产生等离子体的直流偏压来研究刻蚀机理，为了更精确地定量分析刻蚀工艺，使用氩光能测定技术使等离子发射强度转换为相应的等离子物质浓度。为获得选择性的ＳｉＣ－Ｓｉ刻蚀及ＳｉＣ薄膜的各向异性图形，对等离子体条件，如气体混合物的构成，压力和功率进行了研究。首次采     

薄膜多层微光专用混合集成电路的研制

本文简略地介绍了采用埋置电阻型薄膜多层工艺技术研制的微光专用混合集成电路的电路原理，设计思想，以及电路性能，着重阐述了多层工艺中出现的问题及解决的方法。     

α—Fe2O3薄膜的制备,结构和气敏特性

采用等离子增强化学气相淀积工艺（ＰＥＣＶＤ）制备出了Ｆｅ２Ｏ３薄膜，用Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）和扫描电子显微镜（ＳＥＭ）分析了薄膜的结构、表面形貌和粒度，研究了薄膜对乙醇、液化石油气、煤倔和氢气的敏感特性。结果表明所研制的薄膜对乙醇有较高灵敏度，共检测下限可达１ｐｐｍ，而对液化石油气、煤气和氢气不太敏感，具有优良的选择性。     

POWERLINK创造的世界记录

快速发展的电气传动控制需要大量的数据交换,使得POWERLINK能够体现其强大的特性,这一点最近已经被它在驱动同步方面所达到的世界记录所验证。制造商布鲁克纳的连续薄膜拉伸生产线采用了直     

钢复合化学热处理的表层特性及应用

本文通过对比试验研究了20—Cr2Ni4钢经渗碳或氰化处理和渗碳或氰化与低温电解渗硫相结合的复合化学热处理以后的表面层特性和摩擦学行为。结果表明；渗碳或氰化后再进行低温电解渗硫可获得一具有层状结构的硫化物层。它不仅能够降低摩擦系数，而且能起到固体润滑作用。