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为了验证二类超晶格红外探测器的性能,设计了探测器的驱动电路。因红外探测器的灵敏度高,设计了低噪声电源偏置电路,优化了电路板的布局。结合320×256长波红外焦平面组件特点设计的驱动电路为探测器组件提供电源与偏置电压、时序与控制信号。实验结果表明,该驱动电路能基本满足二类超晶格红外成像系统低噪声、高精度的要求。 相似文献
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得克萨期仪器公司的微电子制造科学技术计划,正在九十年代中期发展一种通用的半导体器件制造技术。原位真空处理,组件式群集加工设备,其于传感器的实时过程控制以及计算机集成制造是这项活动的基本组成部分。 相似文献