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61.
Si基膜片型气敏传感器微结构单元的热学性能   总被引:3,自引:0,他引:3  
微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化和易批量生产等优点而受到国内外研究者的广泛关注。利用微机电系统(MEMS)加工技术,制备Si基膜片型微结构单元,并分析其热学性能。这种单元工作区温度为-300℃时,加热功率约75mW;并且膜片工作区的热质量很小,温度可以于毫秒量级的时间内,在室温和450℃之间调制。利用这种微结构单元,可以在温度调制方式下,研究气敏薄膜的电学特性和敏感机理。  相似文献   
62.
几种高性能汽车用铸造铝-硅合金   总被引:8,自引:0,他引:8  
简要介绍国内应用于汽车工业的几种重要铸造铝合金的成分和性能,并与国外同类铸造铝合金的性能进行了对比。  相似文献   
63.
《光学精密机械》2002,(4):22-23
  相似文献   
64.
纳米多孔硅面光源矿山照明灯   总被引:2,自引:0,他引:2  
多孔硅发光是当今物理学的前沿课题之一。提出了利用多孔硅作为面光源研制新型矿山照明设备的构想以及该设备的产业化前景  相似文献   
65.
硅光电负阻器件的构成原理与分类   总被引:1,自引:0,他引:1  
将三端负阻器件与硅光电探测器相结合 ,通过新的构思成功地提出并构成了一类新型光电器件——硅光电负阻器件。文中报道了该器件构成的一般性原理 ,以及依据此构成原理确定的分类方法  相似文献   
66.
1500Nm~3/h制氧机板式作用是冻住空气中水分和二氧化碳。一旦板式因水冷塔水液位高而造成进水,就会造成板式通道结冰堵塞,就必须进行加温解冻反吹,这个过程需要5d左右,每天电费成本损失在1万元左右。因此确保水冷塔水液位正常是1500Nm~3/h制氧机正常生产的关键。  相似文献   
67.
68.
居勤章  魏国君  夏欣鹏 《炼铁》2003,22(3):13-16
对宝钢2号高炉4号热风炉凉炉的原因、凉炉的前期族备工作、凉炉的设备和方法以及凉炉的实际效果进行了总结。通过这次凉炉实践,取得了一些有价值的经验,这些经验对今后宝钢砖硅热风炉的凉炉具有重要的参考意义。  相似文献   
69.
不饱和烃硅氢加成催化剂固载化研究进展   总被引:3,自引:2,他引:1  
戴延凤  李凤仪 《化学试剂》2005,27(9):525-530
综述了各类负载过渡金属的催化剂体系及其在不饱和烃硅氢加成反应中的应用。负载过渡金属的催化剂具有良好的可回收性和选择性,研究主要集中在开发价廉、使用安全、环境友好和高催化性能的活性炭、氧化物或有机聚合物等负载过渡金属催化剂,并取得很好的结果。  相似文献   
70.
微电子机械系统技术与蓬勃发展的光纤通信   总被引:1,自引:0,他引:1  
硅微机械技术是一种新兴技术,它几乎影响着每一个科学技术领域,如汽车、移动通信、航天、化学以及光波系统。目前许多工业领域期待选用微/纳电子机械系统来解决技术上的问题。概括地说,是用标准的集成电路技术实现的。用硅晶片作基底沉积多层膜系,如氮化物、多晶硅、氧化物和各种金属膜系,用制造集成电路的方法可以制造复杂的三维结构。然而,这种结构并不是集成电路,还要通过蚀刻去氧化物释放器件以生产出能运动的结构。在制作工艺上做细微的改变就能生产可运动的器件,诸如旋转齿轮、铰链、平台和柔性梁以及各种类型的电机。在光纤通信应用方面,微电子机械系统(MEMS)技术可制作各种组件,如数据调制器,可变襄减器、光开关、主动均衡器、插/分复用器、光学连接器、色散补偿器、全光开关、可调谐激光光源,有源元件和自适应光学元件。本文描述了用现有的标准制造设备制作出的光通信用的各种微电子机械光学元件。  相似文献   
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