台面型自对准结构AlGaAs/GaAs HBT的工艺研究

本文提出了一种台面型全自对准结构AlGaAs/GaAs HBT的制造方案,对其中的欧姆接触金属系统的制备.AlGaAs/GaAs材料的选择性腐蚀及聚酰亚胺的反应离子刻蚀终点监控等关键工艺技术进行了研究。并给出了应用该工艺研制的HBT器件的初步结果.     

台面型自对准结构AlGaAa／GaAs HBT的工艺研究

本文提出了一种台面型全自对准结构ＡｌＧａＡｓ／ＧａＡｓＨＢＴ的制造方案，对其中的欧姆接触金属系统的制备，ＡｌＧａＡｓ／ＧａＡｓ材料的选择性腐蚀及聚酰亚胺的反应离子刻蚀终点监控等关键工艺技术进行了研究，并给出了应用该工艺研制的ＨＢＴ器件的初步结果。     

磁罗经自差的智能测定和消除

本文介绍了利用磁传感器HMR3000和计算机组成的磁罗经自差的智能测定系统。通过计算机自动比较传感器输出的信号和基准航向信号，该系统在平时航行时就可自动地测定出罗经自差，并计算罗经自差系数，从而大大简便了磁罗经消差的工作程序。     

Nikon光刻机对准机制和标记系统研究

套刻精度是步进式光刻机最重要的指标之一。从应用角度探讨了Nikon系列光刻机的对准方法，举例说明了众多标准标记在实际掩模版上的摆放原则。     

晶圆预对准精确定位算法

针对IC制造工艺中传统的晶圆预对准控制系统预对准精度不高和占用空间较大的不足,提出了一种采用高精度激光位移传感器和低成本的透射式激光传感器的新型晶圆预对准系统,并结合该系统的特点提出了相应的晶圆预对准精确对位算法,而且进行了晶圆预对准重复性精度检测和实验验证.该系统用两种传感器数据融合的方式来检测晶圆的边缘,用质点系重心法确定晶圆形心和缺口位置,最终实现了微米级的晶圆预对准.该系统提高了对准算法的精度,减小了预对准台占用的实际空间,降低了成本.实验结果验证了该系统的有效性.     

搜星琐记

众所周知,要将覆盖该地区的卫星上的转发器用合适口径的天线—网收尽的方法是将反射面对准卫星。然而调好对星方位、仰角和极化角(高频头在馈源中的相对位置)即可准确对星达到预期效果     

光纤陀螺角度随机游走对惯导系统影响

光纤陀螺角度随机游走(ARW)作为光学陀螺特有的性能指标,对导航系统性能具有重要影响。文章阐明了ARW物理含义、产生机理;推导了ARW对惯导系统初始对准和导航过程的影响。仿真结果表明,ARW影响系统初始对准时间;对短时间导航系统性能影响较严重,随导航时间增加,误差呈舒拉周期振荡增长。     

预知性故障传感控制技术及应用

预知性故障控制技术是设备与先进软件的结合，是以传感通讯技术为基础的资产管理，这种技术应用得当，可减少机械故障，提高设备可用丰，获得高的回报。介绍适用电厂的各种预知性检修技术。     

Deformable Registration of Digital Images

is paper proposes a novel elastic model and presents a deformable registration method based on the model.The method registers images without the need to extract reatures from the images,and therefore works directly on grey-level images.A new similarity metric is given on which the formation of external forces is based.The registration method,taking the coarse-to-fine strategy,constructs external forces in larger scales for the first few iterations to rely more on global evidence,and ther in smaller scales for later iterations to allow local refinements.The stiffness of the elastic body decreases as the process proceeds.To make it widely applicable,the method is not restricted to any type of transformation.The variations between images are thought as general free-form deformations.Because the elastic model designed is linearized,it can be solved very efficiently with high accuracy.The method has been successfully tested on MRI images.It will certainly find other uses such as matching time-varying sequences of pictures for motion analysis,fitting templates into images for non-rigid object recognition,matching stereo images for shape recovery,etc.     

子象素对准算法误差分析

本文分析、讨论了影响子象素对准的５种基本因素：成象系统的传递函数、采样频率、量化误差、内插函数形式、方法本身的固有误差．在讨论和分析的基础上指出了减小这些误差可能采取的一些措施