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《传感器与微系统》2019,(12):5-9
研究了使用两种大气压等离子体射流(APPJ)刻蚀Parylene-C薄膜所产生刻蚀区域的形貌和成分之间的差异。两种APPJ分别由单环电极装置和双环电极装置产生。由单环电极APPJ刻蚀的Parylene-C表面是非均匀的,从刻蚀区域的中心到边缘可分为三部分:区域(I)是中心区域,此处Si衬底严重受损;区域(II)是有效的刻蚀区域;区域(III)是刻蚀边界。与单环电极APPJ相比,双环电极APPJ刻蚀的Parylene的形貌要好得多。特别是在区域(I)中,Si片受到轻微损坏。X射线光电子能谱分析(XPS)结果表明:单环电极APPJ刻蚀区域的O元素原子含量多于双环电极。此外,还研究了两种APPJ的刻蚀速率,相比于双环电极APPJ,单环电极APPJ具有较高的刻蚀速率。 相似文献
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于奇中三维奥陶系-寒武系地层走滑断裂非常发育。在于奇中三维利用相干、AFE、蚂蚁追踪技术、曲率开展了断裂检测,对比分析发现相干技术对常规断裂和异常体刻画效果最好,AFE和蚂蚁追踪技术有利于对小断裂的追踪刻画,但蚂蚁追踪技术刻画的部分小微断裂存在一定假象,曲率属性对层面变化较敏感,对断距较小的走滑断裂预测效果一般。 相似文献
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通过对GB/T 5750.5—2006中热法铬酸钡测水中硫酸根的试剂配制、检测过程、原理进行要点补充说明,提高了检测结果的精密度和准确度。整个实验过程中溶液的pH 为控制的关键点,其次是各干扰离子的去除。 相似文献
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<正>陶瓷垫板焊接是一种以特殊陶质材料为衬托、使焊缝强制成型的高效、优质、低成本的焊接方法。这种焊接方法避免了清根作业,减轻了焊工的劳动强度,使焊接生产效率成倍提高,焊接质量得到保障,同时对人体及环境不会造成危害。与传统焊接方法相比,陶瓷垫板焊接是一种符合可持续发展战略的"绿色"焊接方法,目前正在我国推广使用。 相似文献
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