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本文研究了SiH4—O2体系LPCVDSiO2的工艺及设备。为了得到厚度均匀性好的薄膜,改进了反应气体的进气方式和装片舟的结构,获得了每炉100片、直径为100mm的硅片的膜厚不均匀性≤士5%的结果。 相似文献
998.
聚酯-聚醚嵌段共聚物的合成及抗静电性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
研究和分析了PEG分子量、加料次序、反应时间和温度、物料比例、分散剂和固相缩聚等因素对PET-PEG嵌段共聚物分子量和耐水性的影响。合成的嵌段共聚酯醚与PET共混纺丝可以显著改善PET纤维的抗静电性能。 相似文献
999.
1000.
非接触测速信号的接口设计 总被引:1,自引:0,他引:1
陈平 《山东工程学院学报》1995,9(2):7-9
在非接触测速中,采用变中频带通滤波技术,处理非接触测速传感器的信号接口,取得了教好的效果,使电路结构大为简化,并且提高的频率响应,彻底消除了采用跟踪滤波处理方式所存在的启动突变、信号跳变大、输出曲线不平滑等缺陷,同时降低了功耗,并具有很好的通用性和兼容性。 相似文献