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《固体电子学研究与进展》2015,(6)
针对纳米级工艺多指栅MOS晶体管的不同版图结构及其阈值波动的相关特性进行分析和研究。通过将基于Fujitsu 90nm工艺的三种不同版图结构实现的N型多指栅MOSFET器件阈值电压VTH作为工艺波动的研究对象,运用多元非线性回归算法对测试芯片进行系统工艺波动与随机工艺波动的提取和分析,并对与尺寸、版图结构相关的随机工艺波动特性进行了评估。测试结果表明三种版图结构中有源区共有结构具有最佳的电流驱动特性,有源区隔离结构抑制系统波动能力最优,折叠栅结构具有同尺寸器件较低的阈值电压并可以最有效地抑制随机工艺波动。 相似文献
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乡村可持续发展包含自然、经济和社会可持续,是乡村发展与村民获得感和幸福感紧密结合的三个重要组成部分.但是,相比自然和经济领域,现有文献针对社会文化领域的研究较少,主要原因之一是社会文化缺乏有效的表征手段.文章基于社会脆弱性研究,提出的乡村社会脆弱空间的分类、判定方法,能够推进乡村社会可持续发展研究和实践.此外,乡村社会脆弱空间是乡村治理、乡村韧性、乡村振兴"经济社会生态效益相统一"的重要内容. 相似文献
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