高低频不同电压条件下腔室内CCP冷等离子体源的仿真分析

等离子体的状态的变化特征,特别是在双频情况下,是PECVD工艺设备的一项重要指标,这促使人们用不同的方法对它们进行研究。本文使用CFD-ACE 商业软件建立了二维流体模型对N2等离子体进行仿真。首先在高频13.56MHz,高频电压300V,低频电压0V的条件下描述了等离子体,特别是在鞘层部位的电势、电子数量密度、氮自由基和电子温度,分布的基本特征。在此基础上,讨论了高频电压分别是200V,300V,400V时及低频0.3MHz,低频电压分别是500V,600V,700V时对等离子体密度的影响。结论表明,在电极表面形成了约3mm厚的鞘层,在鞘层内电势和电子温度随时间和空间变化较大,而在非鞘层区域内电势跟随电极电压的变化而变化,但几乎不随空间变化,电子温度也只在很小的范围内变化。氮自由基的数量密度也受射频电压的调制,但相对变化很小。等离子体密度仅在鞘层区域内随时间发生变化,所以通过比较主等离子体区参数可以看出,等离子体的密度随着高频电压升高,随低频电压的升高略有下降,同时x方向和y方向的均匀性将会发生变化。因此,在其他条件不变的情况下需要选择合适的高低频电压来获得高密度和均匀性均合乎要求的等离子体。     

基于运动信息和标记多尺度分水岭的运动目标检测算法

针对对称差分法检测目标时容易产生空洞以及当目标运动速度较慢或尺寸较小时易出现漏检等现象,提出了一种基于运动信息和标记多尺度分水岭的运动目标检测算法。首先将用高频强调滤波等处理的视频图像进行差分,再运用高阶统计运动检测算法检测出差分图像中运动目标的大概运动区域,经后处理得到运动目标的初始二值掩膜;并应用初始二值掩膜得到用于标记的前景与背景标识,用该标识修正当前帧的多尺度形态学梯度图像;最后进行分水岭分割,得到具有精确边界的运动目标。实验结果表明该方法能对运动目标进行准确检测,继承了变化检测和分水岭算法速度快的特点,克服了分水岭算法易产生过分割的缺点,且具有良好的鲁棒性。     

基于小波高频分量的浮游植物活体荧光识别技术研究

提出了一种基于小波高频分量的浮游植物活体荧光识别技术。通过测量近海常见52种浮游植物的三维荧光光谱,利用小波函数将光谱分解6层后得到系列正交高频分量cd1～cd6,通过标准偏差选择稳定而特异性强的分量特征点及其组合作为浮游植物荧光识别特征谱,并对其稳定性和判别能力进行贝叶斯判别分析,以判别正确率为基准选择分量组合cd3～cd6作为最佳荧光识别特征谱构建浮游植物荧光标准特征谱库,结合非负最小二乘法实现了浮游植物群落组成门、属水平上的识别测定:单种浮游植物在门、属水平上的识别正确率分别为95.5%和85.7%;浮游植物混合样品(混合比例分别为100%,75%,25%)在门水平上的识别正确率分别为100%,90.9%,53.3%,平均识别相对含量分别为79.7%,68.3%,17.5%;优势藻(单种优势度达75%)在属水平上的识别正确率为81.2%。将该技术用于围隔实验和现场调查采集水样,有效实现了浮游植物在门水平上的定性定量识别测定。     

关于耦合谐振滤波器中耦合极性的几点讨论

对改变带有交叉耦合的耦合谐振滤波器中的耦合系数的极性而不改变滤波器的性能 ,本文给出了一个充分条件及其两个推论。这为滤波器的设计和实现带来了一定的灵活性。结合这一充分条件 ,本文还详细解释了滤波器中的耦合极性的相对性问题。最后给出了在确定耦合系数矩阵后实现滤波器时设计耦合结构的一种通用方法。     

基于布拉格光纤光栅谐振频率的实时测量

分析了一种基于布拉格光纤光栅(FBG)的高效方便的谐振频率检测系统。布拉格光纤光栅作为传感器粘贴在悬臂梁表面探测其振动,密集波分复用器(DWDM)作为波长解调器件通过透过率曲线获得布拉格光栅反射光的相对中心波长位移。通过计算机处理数据采集卡采集的实时信号获得悬臂梁多阶谐振频率。结果显示,在与传统的加速度传感器测量谐振频率进行比较时,两者结果很好地吻合。光纤光栅传感系统测得所需的1~4阶悬臂梁谐振频率在频谱上的信噪比均大于20 dB,系统的应力动态测量精度为2.45×10-9ε/Hz,表明该系统能够有效地测量谐振频率。     

新型低成本色散测试仪的研制

介绍了一种新型的基于普通单模光纤的低成本色散测试仪的研制方法,主要讨论了设计原理,硬件电路的实现及实验结果。通过引入波长为1310nm的参考光,不仅以波长间隔大的1310/1550nmWDM(波分复用/解复用器)代替了波长间隔小的1550nm附近的WDM,而且巧妙地消除了系统随机误差,并在软件部分采用自动校准、多次测量求平均值的方法,保证了测量的精度,具有较高的稳定性和抗干扰能力。     

浅谈三层实木复合地板生产工艺和设备的改进

简略阐述和分析了近年国内外企业对三层实木复合地板生产工艺及设备所作的改进,提出了采用高频热压法的国产实木复合地板生产线设计和配套方案     

精密微小型制造理论、技术及其应用

以中间尺度的微小型构件为目标,以传统制造技术为基础,提出精密微小型制造技术概念和主要内涵.提出并实现了高转速数控精密微小型车铣复合加工技术,研究在微小型车铣复合加工中心上进行微小型零件完整性加工的工艺技术及特性.针对超薄、异型微小型金属构件的制造,提出大功率高频群脉冲电化学微小型制造方法和工艺.提出并初步研究基于制造特征仿真的相关理论和建模方法,介绍应用实例.提出基于工艺匹配原则的计算机显微检测技术,介绍关键技术研究进展.     

TC4钛合金环热应力校形的数值模拟研究

TC4钛合金的屈服强度和弹性模量比值高,故其成形后回弹量大,成形后尺寸不精确,难以成形出合格零件,需要进行校形,以得到合格零件。因此本文基于大型商用模拟软件ANSYS建立了钛合金热应力校形的模型,利用软件中LS-DYNA求解器,对钛合金热应力校形的过程进行了模拟。从而找出钛合金热应力校形中的一些规律和校形最佳参数,以指导实践中的校形,并进行了一些试验来验证模拟的可信度,试验证明模拟的可信度是可以信赖的,期望能够将其用于指导生产。     

关于盐浴高频淬火方法的讨论

在钢材高频淬火热处理工艺过程中,经常出现淬不硬、淬透和脱碳等现象,同时伴随着弯曲变形缺陷的产生,这类工件在生产制造过程中又极难返工,从而导致工件报废率增加和生产成本增加。在实际操作过程中,经过不断探索发现,如果用盐浴的方法,可以在一定程度上有效解决这一问题。