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141.
GaAs器件工艺中等离子刻蚀及计算机辅助监控技术研究 总被引:2,自引:1,他引:1
陈正明 《固体电子学研究与进展》1994,14(2):182-185
用N2气和NF3反应气体,在较低的刻蚀功率下实现了用薄正性光刻胶AZ1518作掩模,均匀、快速刻蚀SiO2,SiON,Si3N4,WN,W等材料的等离子刻蚀技术。利用到蚀过程中射频参数的变化和计算机技术,将射频参数的变化在计算机屏幕上实时显示,实现了计算机辅助监控和终点检测技术。 相似文献
142.
传统的CAD/CAM系统由于设计思想本身的局限性,其内部只能达到一种松散的基于数据交换的低水平的集成,产品的设计方法也不符合工程技术人员的设计思路。本文提出了基于全耦合的单一数据模型的并行CAD/CAM系统设计思想,使得CAD/CAM系统内部达到以数据共享为基础的高度集成。并行CAD/CAM系统充分体现了工程技术人员的思维方式及产品设计过程的反复性和协调性。此外,文中还提出广义参数化设计的新概念,它与特征设计方法的有机结合保证了产品模型的完整性和产品设计过程的同步性。特征共享是实现CAD和CAM集成的关键因素。并行CAD/CAM系统应用面向对象软件设计思想,实现了复杂数据模型的内部封装,并为数据模型和功能模块之间提供简单直观的界面。面向对象设计方法是开发并行CAD/CAM系统的有效手段。 相似文献
143.
通过对3G的市场分析、技术分析、制式选择关键因素分析和经济分析,得出了中国新移动运营商3G的发展策略。无论从基于频率资源与制式关系的考虑,基于选择3G主流制式的考虑,还是从基于利用非对称频段资源、采用TD-SCDMA混合组网的考虑,对新的运营商来说,采用WCDMA来建设移动通信系统都是必要和有利的选择。 相似文献
144.
145.
本文对N个振荡器相互注入锁定同步振荡系统提出了一种通用的分析方法。建立了该系统的完整非线性等效模型,导出了系统的状态方程。对于各种不同电路形式的振荡系统,只要将具体的电路参数代入,就可计算其输出功率,功率合成效率及工作频率等参数,从而使这类系统的计算机辅助分析和设计成为可能。 相似文献
146.
介绍采用射线方法检测功率管芯片与基座之间的焊接质量。试验证明,选用合适的透照参数可使X射线照相和X射线实时成像对焊接部位的检测均得到较高的对比灵敏度,但X射线照相法成本低廉,一次可透照多个工件,效率高,为该功率管焊接质量的理想检测方法。 相似文献
147.
网上协作学习模式研究 总被引:1,自引:0,他引:1
主要针对网上协作学习的基本模式、实现方式和存在的问题进行了初步研究。 相似文献
148.
介绍了煤气发生系统的组成和工作流程,进一步分析了系统的功能和输入输出需求.在控制系统总体结构设计和硬件设计的基础上,详细论述了自动加煤和自动除灰的程序流程设计.实际应用表明了该控制系统设计的合理性. 相似文献
149.
150.
随着数字技术和计算机技术的发展,非线性编辑系统已经越来越广泛地应用在电视节目制作中.阐述了非线性编辑系统在电视新闻节目(包括新闻专题节目、以新闻消息为主的日播节目等)制作中具有的优势和存在的劣势. 相似文献