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81.
GaAs器件工艺中等离子刻蚀及计算机辅助监控技术研究 总被引:2,自引:1,他引:1
陈正明 《固体电子学研究与进展》1994,14(2):182-185
用N2气和NF3反应气体,在较低的刻蚀功率下实现了用薄正性光刻胶AZ1518作掩模,均匀、快速刻蚀SiO2,SiON,Si3N4,WN,W等材料的等离子刻蚀技术。利用到蚀过程中射频参数的变化和计算机技术,将射频参数的变化在计算机屏幕上实时显示,实现了计算机辅助监控和终点检测技术。 相似文献
82.
传统的CAD/CAM系统由于设计思想本身的局限性,其内部只能达到一种松散的基于数据交换的低水平的集成,产品的设计方法也不符合工程技术人员的设计思路。本文提出了基于全耦合的单一数据模型的并行CAD/CAM系统设计思想,使得CAD/CAM系统内部达到以数据共享为基础的高度集成。并行CAD/CAM系统充分体现了工程技术人员的思维方式及产品设计过程的反复性和协调性。此外,文中还提出广义参数化设计的新概念,它与特征设计方法的有机结合保证了产品模型的完整性和产品设计过程的同步性。特征共享是实现CAD和CAM集成的关键因素。并行CAD/CAM系统应用面向对象软件设计思想,实现了复杂数据模型的内部封装,并为数据模型和功能模块之间提供简单直观的界面。面向对象设计方法是开发并行CAD/CAM系统的有效手段。 相似文献
83.
The forces, chip thickness, and natural tool–chip contact length in machining with a double-rake-angled tool are predicted in Part II of the present study. It is revealed that in comparison with a single-rake-angled tool, a double-rake-angled tool increases the forces, especially the thrust force. However, the increase in chip thickness and tool–chip contact length is not significant under the input conditions specified in the present study. The effect of seven input variables of the proposed model is quantitatively investigated. The predicted variations of forces, chip thickness, and natural tool–chip contact length are in good agreement with theoretical and experimental results obtained by other researchers. The interrelationships among the resultant force, the chip thickness, and the natural tool–chip contact length are established, which provides a new and promising method to estimate the tool–chip contact length by employing the resultant force. It is demonstrated that the model can also be extended to study the problem of machining with a groove-type chip breaker tool. 相似文献
84.
通过对3G的市场分析、技术分析、制式选择关键因素分析和经济分析,得出了中国新移动运营商3G的发展策略。无论从基于频率资源与制式关系的考虑,基于选择3G主流制式的考虑,还是从基于利用非对称频段资源、采用TD-SCDMA混合组网的考虑,对新的运营商来说,采用WCDMA来建设移动通信系统都是必要和有利的选择。 相似文献
85.
平面Z-型软磁铁氧体频率特性的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
研究分析了Co2Z材料显微结构与磁性能的关系,在普通铁氧体工艺中引入预磁化处理方法,并适当控制二次再结晶现象,成功地研制出高性能的Co2Z型宽频材料,Z-型铁氧体材料的共振频率可达1.8GHz以上,截止频率在1GHz附近,起始磁导率在8-13之间,介电常数相对较低(ε'<30)。 相似文献
86.
数值地形图的生成及其水文地貌特征评价 总被引:17,自引:2,他引:15
数值地形图(DEM)是利用地理信息系统(GIS)进行流域水文模拟的基础, 其精度直接影响模拟结果在没有现成的数值地形图时, 应用人员往往利用传统的地形图来生成它. 本文分别采用Arc/Info地理信息系统软件提供的哈奇逊法和不规则三角网五次插值法, 对一个实验流域的高程取样点进行插值, 生成了4种不同的数值地形图, 从凹洼分布、流域界定、河网提取、地面坡度和地形指数、以及地面径流汇成等方面, 对它们的水文地貌精度进行了比较. 结果表明, 两种方法都能生成由高程点群所反映的地形, 然而由于哈奇逊法能够结合流域的河网结构及其具有物理基础的水文地貌加强法来处理凹洼问题, 因此大大地提高了其所生成的流域数值地形图水文地貌特征精度. 相似文献
87.
综述了新一代微控制器与嵌入式RISC处理器的主要特点和发展方向;详细介绍了目前国内外最流行的不同字长的系列机种、结构特点、专有特性及系统应用等;最后预测了它们的世界销售市场与国内发展前景。 相似文献
88.
通过对真丝绸整个产品生命过程的分析,对其进行了生命周期评价,说明了丝绸与其产地环境之间的联系和影响,尝试寻求两者之间的和谐关系,提出了清洁生产工艺的规划和各种行之有效的对策和措施,尝试了对环境友好的丝绸印染工艺的生态设计。 相似文献
89.
网上协作学习模式研究 总被引:1,自引:0,他引:1
主要针对网上协作学习的基本模式、实现方式和存在的问题进行了初步研究。 相似文献
90.
论述了单片机控制激光电源的原理,提出了产生PWM控制的基本思想及整个控制系统的硬件组成和软件设计方法。 相似文献