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高效率平面磁控溅射器的研制 总被引:1,自引:1,他引:0
介绍一种新型磁控溅射装置。它采用两块极性相对的环状磁铁的设计方法,通过扩大靶表面的等离子放电区域面积,使传统磁控溅射枪使用中经常受到的两个限制──溅射速率与靶的利用率得到了较大的改善。实验中铜靶在溅射功率密度为11W/cm~2时溅射速率约为800nm/min,如果继续提高功率则可获得更高的速率。而靶的利用率可达64%左右。另外,在认为出射粒子符合cos~nθ分布的前提下,发现当n=3.3时,实验数据和理论数据符合得较好。 相似文献
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本文提出了一种直接把红外前视传感器的输出作为测量值来跟踪红外目标的扩展型卡尔曼滤波跟踪算法。在滤波处理时,设置可变的测量矩阵,其目的在于提高运算速度和抑制噪声干扰。通过具体的实例,对所提跟踪算法的特点和有效性进行了细致的分析。 相似文献
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1 IntroductionSince 1 990 ,chaoticsynchronization[1~ 4] andchaoticcontrolling[5~6] havereceivedagreatdealofattention[7~1 1 ] ,andchaoticsynchronizationisaphenomenonofinterestinfieldsfromelectronicstocommunication[1 2 ] ,andfrombiophysicstoneuro science[1 3] .Ifchaoticsync… 相似文献
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双波段成象及融合技术研究 总被引:7,自引:4,他引:3
概括地分析了双波段成象技术的发展概况,分析了成象技术的基本原理,提出了红外双波段基本方案和涉及的关键技术,分析和计算了系统的基本性能。最后,讨论了双波段及融合技术,认为在双波段实现融合应以自主式结构为主。 相似文献
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提出了一种应用于电子束曝光机束流测量中的自动跟踪工频陷波器,给出电路结构,基于对其工作原理的分析,介绍了提高陷波器跟踪精度的设计要点及调试方法。 相似文献