Enhanced thermal stability of a sputtered titanium-nitride film as a diffusion barrier for capacitor-bottom electrodes

The effect of a thin RuO_x layer formed on the Ru/TiN/doped poly-Si/Si stack structure was compared with that on the RuO_x/TiN/doped poly-Si/Si stack structure over the post-deposition annealing temperature ranges of 450–600°C. The Ru/TiN/poly-Si/Si contact system exhibited linear behavior at forward bias with a small increase in the total resistance up to 600°C. The RuO_x/TiN/poly-Si/Si contact system exhibited nonlinear characteristics under forward bias at 450°C, which is attributed to no formation of a thin RuO_x layer at the RuO_x surface and porous-amorphous microstructure. In the former case, the addition of oxygen at the surface layer of the Ru film by pre-annealing leads to the formation of a thin RuO_x layer and chemically strong Ru-O bonds. This results from the retardation of oxygen diffusion caused by the discontinuity of diffusion paths. In particular, the RuO_x layer in a nonstoichiometric state is changed to the RuO₂-crystalline phase in a stoichiometric state after post-deposition annealing; this phase can act as an oxygen-capture layer. Therefore, it appears that the electrical properties of the Ru/TiN/poly-Si/Si contact system are better than those of the RuO_x/TiN/poly-Si/Si contact system.     

鲁奇加压气化炉的火层控制

通过对影响气化炉火层各因素的分析，理论与实际相结合，推导出现见性控制气化炉火层的经验式，应用于生产实际中，起到了指导生产的作用。     

水泥生产中预加水成球微机控制系统

叙述水泥生产中以ＳＴＤ８０９８微机系统为核心组成的生料预加水成球控制系统的构成、工作原理及软件结构。该系统目前已在云阳钢铁厂水泥分厂投入使用，效果良好，成球合格率在９０％以上。     

瞬态瑞利面波技术在地震勘探方面的应用研究

运用瞬态瑞利面小勘探方法可以在寻找激发岩性和提供静校正所需参数方面取得好的效果。     

精细功能陶瓷的若干发展趋势

概括了分析自９０年代初以来精细功能陶瓷的发展趋势，提出了一些相关的研究领域。     

DIRECT RESONANCE OF TURBULENT BOUNDARY LAVER OVER COMPLIANT WALLS

１．　ＩＮＴＲＯＤＵＣＴＩＯＮＴｈｅｍａｉｎｇｏａｌｏｆｔｈｉｓｐａｐｅｒｉｓｔｏｅｘｐｌｏｒｅｔｈｅｐｏｓｓｉｂｉｌｉｔｙｔｏｌｅａｒｎｍｏｒｅａｂｏｕｔｔｈｅｍｅｃｈａｎｉｓｍｏｆｔｕｒｂｕｌｅｎｔｂｏｕｎｄａｒｙｌａｙｅｒｆｌｏｗｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎｓａｎｄｉｔｓｅｆｆｅｃｔｓｏｎｃｏｍｐｌｉａｎｔｗａｌｌｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ．Ｔｈｅｒｅａｒｅｃｅｒｔａｉｎｐｒｅｒｅｑｕｉｓｉｔｅｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓｔｏｆｕｒｔｈｅｒｔｈｅｓｔｕｄｙｏｎｔｈｅｍｅｃｈａｎｉｓｍ，ｉ．ｅ．ｔｈｅｃｏ…     

地下通风系统管理的新技术——系统特征图

本文介绍系统特征图的原理与方法 ,及其推广应用的前景     

工业锅炉群集散控制系统

介绍了XMC-3000工业热水锅炉群集散控制系统的硬件组成及特点,描述了锅炉燃烧系统、定压系统的控制方案和系统供热调节模型,最后给出了系统的主要功能。     

遥感在水面薄层研究中应用的可行性分析及其验证

从遥感测温的基本原理出发，结合发生在水面热力薄层内热结构变化的物理特征，分析了遥感技术用于监测水面薄层热结构垂直温度廊线与变化的可行性。据此，在气一水热力薄层的实验室模拟研究中得到了应用与验证，经实验证实这种新技术与常规手段结合可为水面热力边界层研究提供可靠的数据来源。由此认为，这一方法的研究将在微尺度海面过程、全球气候变化和水一气间能量通量研究中有着广阔的推广应用前景。     

BEM 系列原油流动性改进剂的应用

对BEM系列原油流动性改进剂的基本原理以及在中洛、濮临、东临、东黄、鲁宁、魏荆等几条原油长输管道工业应用的现场测试情况进行了介绍。结果表明，BEM系列原油流动性改进剂在降低原油凝点和粘度方面性能良好，能满足管道安全，平稳运行的要求。