微沟槽电解加工试验研究

采用掩膜微细电解加工方法在304不锈钢表面制备微沟槽结构。重点研究了电流密度、加工时间对微沟槽成形质量的影响规律,得到了较优的电流密度及加工时间,获得了宽度为200~250μm、深度为60~90μm的规整微沟槽结构。对比分析了Na NO3+H2SO4混合电解液与单纯Na NO3电解液加工获得的微沟槽形态及尺寸,结果表明Na NO3+H2SO4混合电解液能在一定程度上提高电解加工的定域蚀除能力。     

超短脉冲电流微细电解加工技术研究

利用电化学腐蚀方法,在自制的电解加工机床上连续实现微细工具电极的制作和工件的加工,通过试验研究了超短脉冲的电压幅值和脉冲宽度对侧面加工间隙的影响。结果表明,减小脉冲宽度,降低加工电压,可以提高微细电解加工的精度。利用优化的加工参数,进行了微小孔加工、微细直写加工以及成形电极微细加工的实验。     

基于单因素回归法微切削影响因数的研究

微细切削加工制造是复杂结构特征微加工的研究趋势,其在航空航天、医疗等精密加工领域有着广泛的应用前景。为加深对于微细铣削加工机理及微细切削加工过程中可能存在的影响制造件质量因素的研究,依据课题研究需求针对多孔钛合金材料进行微细切削加工实验,实验使用单因素控制法对不同加工的因素调整获得对应实验数据。深入理解微细铣削加工机理的本质,采用二次回归法研究各因素变化对切削力和温度的影响,从而总结出在微细切削加工过程中各切削参数对切削力和温度的影响,旨在为微细加工时各因数加工控制提出指导。     

微磨削锥塔结构光滑表面的自适应方向检测与微加工精度

用白光干涉检测(WLI)法检测微结构表面形貌时,其光滑结构面和边角数据很容易丢失,因此本文提出了自适应方向WLI检测法。该方法分别沿着每个微斜面法向进行自适应方向检测,评价分析其面形、特征轮廓和特征点的加工精度。首先,采用#3000金刚石砂轮微细尖端在Si表面加工出高度为50μm、宽度为56μm且光滑的微锥塔结构。然后,利用四次检测点云对微磨削表面进行拼接与重建。最后,分析面形误差、特征轮廓误差和特征点误差。实验显示:自适应方向WLI检测可以重构出完整的微锥塔结构表面,微磨削的面形误差为5.3μm,表明该微磨削技术可以确保微锥塔结构光滑Si表面的加工精度。但是,对微锥塔结构表面特征轮廓误差及特征点误差的评价表明,特征轮廓误差高达7.7μm,而特征点误差约为15μm,约为面形误差的3倍。分析认为这些误差是由微金刚石砂轮V形尖端磨钝及微磨粒钝化造成的。     

新型快速准分子激光微加工方法制备毛细管电泳芯片的研究

选用聚合材料聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)代替玻璃,石英等作为毛细管电泳芯片的基片材料.在19 kV,5 Hz及5mm/min的加工参数下,采用新型快速准分子激光微加工方法完成了毛细管电泳芯片的制备.实验结果表明该方法加工过程简单,耗时短,自动化程度高,有效提高了芯片成品率和加工质量.芯片与相同尺寸的盖片在105℃、160 N、恒温20 min条件下通过热压键合在一起,得到密闭性好的整体芯片.最后在芯片上应用激光诱导荧光检测法对Cy5染料完成了分离检测,获得了重复性很好的检测信息.     

微型模具制造技术研究与发展

介绍了微型制件及微型模具成形特点，全面分析了各种微细加工方法的技术特点及其在微型模具制造中的应用状况，同时分析了各种微细加工技术的适用范围与发展前景，并重点阐述了以LIGA技术为代表的光加工技术在未来微型模具制造技术发展中的重要作用。     

电化学加工测肌张力微电极的工艺研究

应用电化学加工和金属的弹塑性变形理论，通过对铜电极的加工工艺的研究，提出了一种新的测量肌纤维张力微电极的装置和加工方法，并经过实验确定了该方法的可行性和工艺参数。     

一种微机电(MEMS)引信安全系统

结合当今飞速发展的电子技术．以及MEMS领域的微加工技术．参考国外MEMS技术在引信中的应用，设计出的用于小口径武器MEMS引信系统，其中包括微主控制单元、微安全和解除保险机构、微检测机构以及微起爆机构．形成完整的微型电子机械引信结构。     

超纯水微细电解加工的基础研究

简要介绍了离子交换树脂间超纯水的电离过程,试验研究了超纯水电解加工的机理和可行性,并对实验结果进行了探讨。     

激光在电子器件工业中的应用

激光加工按加工尺度可分为宏观加工,微细加工和光刻本文重点讨论激光在电子器件工业中微细加工及光刻中应用