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91.
基于陶瓷微热板的高温气体传感器研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
针对目前商用陶瓷气体传感器功耗大、封装困难等缺点,提出一种陶瓷微加工微热板式气体传感器的结构和无内引线封装的方式。通过光刻剥离的方法,在氧化铝陶瓷基底上制作出Pt微加热器及接触电极。采用激光微细加工技术,制作出不同结构参数的陶瓷微热板器件。从温度同加热功率的关系、热响应时间和微加热器稳定性等方面对微热板进行了测试和评价...  相似文献   
92.
Puts forward a new method in machining microelectrode by electro chemical machining (ECM) and plastic deformed theory. The procedure of this method is to machine the microelectrode according to the basic rule of ECM theory at first. Then, with the change of ECM machining parameters, one of the microelectrode ends is exerted by a load. As a result, the elastic and plastic deformation is produced at the machining section and the microelectrode diameter is reduced. It has been proved that the proposed method can determine the optimum machining parameters to machine the microelectrode of Cu.  相似文献   
93.
张辽远  刘尧 《兵工学报》2005,26(1):129-132
应用电化学加工和金属的弹塑性变形理论,通过对铜电极的加工工艺研究,提出了一种新的微电极加工方法,其设计思路是,利用电化学加工的基本理论对微电极工件进行初步加工,当直径达到一定尺寸后,改变电化学加工的电规则,同时对工件施加载荷,此时在其加工截面产生明显的弹性和塑性变形,最终达到微电极要求的尺寸,并经过实验确定了该方法的可行性及其工艺参数。  相似文献   
94.
微电子机械系统技术及其应用   总被引:3,自引:0,他引:3  
微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有:腐蚀技术、硅键合技术、多层无应力薄膜沉积技术、牺牲层技术、LIGA技术以及以上技术的复合,该项技术应用广泛。本文重点介绍在微传感器、微电机、机械滤波器和谐振滤波器等方面的应用,并探讨了发展方向。  相似文献   
95.
介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器。基于双金属效应,采用聚合物SU-8胶和金属镍作为功能材料和结构材料,铜为牺牲层材料制作电热微驱动器。利用ANSYS有限元分析软件进行仿真,模拟驱动位移随加热时间的变化关系,并由此得出驱动力的大小,比较结果后确定结构参数。再通过光刻、掩模电镀和牺牲层刻蚀等工艺,加工制作出了电热微驱动器样品,并对样品进行了观测和分析。  相似文献   
96.
97.
微细结构超声电解复合加工工艺研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用组合电加工方法制作的多种微细工具阴极,对多种材料进行了微细超声与微细超声电解复合加工的对比试验.结果表明微细超声电解复合加工对于提高微细结构加工效率与成形精度有明显效果.  相似文献   
98.
磨料水射流微细雕刻技术的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
根据磨料水射流加工的特点,建立了磨料水射流加工的神经网络模型。用训练好的神经网络模型来预测给定加工条件下的进给速度,并根据加工路径和机床的特性对进给速度进行修正,并编写数控代码。通过控制水射流的进给速度来间接控制其刻蚀深度,同时获得加工轨迹的圆滑过渡,从而实现磨料水射流的雕刻工艺。本文以不锈钢为原材料,以JJ-I数控水射流机床为实验平台,根据机床的特性手工编程,成功雕刻出微型摩托车图形。  相似文献   
99.
为了探索改善微细铣削加工条件、提高微细铣削加工精度的新途径,研究了利用超声振动辅助微细铣削对工件动态变化的影响.计算分析了普通铣削和超声振动辅助铣削加工时主切削力波形特点,建立了刀具/工件振动系统模型,理论计算了施加超声振动前后工件的动态位移,并以2A12为实验材料进行了铣槽实验验证.理论分析和实验结果表明,进给方向超声振动辅助微细铣削可以获得近似脉冲状的切削力,获得均匀细小的切屑,同时减小工件在切削加工中的动态变化,有助于提高加工尺寸精度.  相似文献   
100.
提出用超声复合电加工方法制作微小结构,并分析微细超声、超声复合电火花、超声复合电解微细加工机理;用微细放电组合技术制作多种截形微细工具电极;完善超声复合电加工试验系统,进行多种材料、形状微结构超声复合加工试验.结果表明:超声复合加工是制作硬脆材料微结构的有效方法;超声复合电火花加工金属材料微结构有良好的精度及稳定性;超声复合电解加工具有效率高、精度好的技术优势.  相似文献   
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