排序方式: 共有3条查询结果,搜索用时 15 毫秒
1
1.
2.
3.
以不同N2含量Ar-N2混合气体为溅射气体在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)基膜上磁控溅射制备Ag膜,研究了N2含量对Ag膜动态沉积率、耐盐雾腐蚀性能和反射率的影响。结果表明:随着N2含量增加,制备的Ag膜的晶粒尺寸逐渐减小,在盐雾中的腐蚀速率逐渐降低,动态沉积率和反射率均逐渐降低;综合生产效率和各项性能,优选N2体积分数为20%的Ar-N2混合气体溅射Ag膜工艺,其动态沉积率为纯Ar制备Ag膜的95%,反射率也由纯Ar制备Ag膜的93.8%降低至93.4%,在盐雾中的腐蚀速率降为纯Ar制备Ag膜的22%左右。 相似文献
1