316L不锈钢表面氮离子注入后的疲劳及腐蚀疲劳行为

３１６Ｌ（Ｆｅ－１７．５Ｃｒ１３．５Ｎｉ－２．５Ｍｏ）不锈钢注入Ｎ离子后，其自由腐蚀电位Ｅ＿０、孔蚀再钝化电位Ｅ＿ｐ及孔蚀电位Ｅ＿ｒ均大大提高。在大应变量下，疲劳寿命下降；在小应变量下，疲劳性能改善。在电位Ｅ＿０作用下，其腐蚀疲劳寿命较高子注入前有所降低。在施加电位Ｅ＿０－１００ｍＶ时，其疲劳寿命较离子注入前提高。表面离子注入层的存在提高材料的循环应力。     

国外离子注入机发展动态

国外离子注入机发展动态随着超大规模集成电路的迅速发展，为适应中００、０．５μｍ工艺的需求，国外出现了多种新型的中束流、大束流、高能离子注入机，现将其现状介绍如下：新型中束流离子注入机大多采用平行束扫描方式、束的平行度优于０．５度。２００ｍｍ晶片内注入...     

镀铬层的氮离子注入

为了提高抗磨损性、抗腐蚀性和润滑性,常将各种工程用具和零件镀上铬.在许多用途上,人们都希望能进一步强化镀铬层的特性,进一步提高其性能.虽然用电化学方法沉积的铬层很硬,也很均匀.但对于一些磨擦损伤严重的工作,或一些实质上是粘附磨耗的工作而言,对铬层再作进一步处理,会使其性能更优.不过,任何这样的进一步处理都必须保证不     

业精于专 方显卓越——访维利安半导体设备(上海)有限公司销售总监姜至善

“业精于专,方显卓越”微雕大师如是说。当前,许多晶圆代工厂以200mm、0.18μm作为半导体集成电路的主要技术及产品提供给市场,有的晶圆代工厂200mm、0.18μm产品已达到60%。但是为了抢占市场的至高点,目前相当部分的芯片制造商目前正在把0.18μm工艺提升到0.13μm,随着芯片制造工艺技术的提高,对离子注入机的技术要求也越来越高。记:姜总,维利安半导体设备公司作为一家在离子注入机领域享有很高知名度的半导体设备供应商,您能否简单地给我们介绍一下?姜:维利安半导体设备公司(纳斯达克简称:VSEA)是一家全球性的跨国高科技公司,总部位于美…     

17—4PH沉淀硬化不锈钢氮离子注入及其复合改性的研究

采用Ｎ－＾＋注入，Ｎ－Ｃ－Ｏ共渗结合Ｎ－＾＋注入的表面复合改性方法，探索强化１７－４ＰＨ钢表面的有效途径，该方法赋予基体表面一定深度的改性范围与低摩擦系数，因而强化效果达到最佳。同时还探索了不同时效温度下，基体心部硬度变化的规律。     

注碳外延硅的荧光特性研究

研究了注碳外延硅经氢气退火及电化学腐蚀处理后的荧光特性。经能量为50keV,剂量为2×1016cm-2的碳离子注入后的外延单晶硅片,在氢气氛下高温退火及电化学腐蚀处理。荧光谱仪分析表明电化学腐蚀是蓝光发射的前提,并且不同的电化学腐蚀条件对发光强度和峰位影响极大。不同的激发光波长亦可影响发光谱的峰位。     

B+、As+离子注入工艺模拟模型的比较

对离子注入分布杂质浓度模拟的不同模型进行了简短的回顾,介绍了在ＳｕｐｒｅｍⅣ中采用的双Ｐｅａｒｓｏｎ分布模型。通过对Ｂ＾＋及Ａｓ＾＋在不同剂量和能量下对硅中的注入,采用ＳＩＭＳ进行浓度分布测试,对双Ｐｅａｒｓｏｎ模型作了评估。     

全机械扫描强流离子注入机重复性研究

对影响全机械扫描强流离子注入机剂量重复性的因素进行了分析。对束流纹波的影响建立了数学模型，计算了束流纹波对剂量重复性的影响。结果表明只要束流纹波在9％以内，剂量重复性可控制在1％以下。