Co-Re MOCVD设备反应室流场的CFD数值仿真

以化学气相沉积Co-Re合金涂层为对象,建立反应室内部数学模型采用计算流体力学CFD方法对化学气相沉积制备Co-Re合金涂层反应室进行三维数值模拟分析,前处理采用ICEM软件划分网格,在fluent15.0中计算了反应室中基底附近流场分布,数值模拟采用非交错网格系统SIMPLE算法,以提高涂层表面均匀性为目的,研究了不...     

化学气相沉积法制备Co-Re涂层沉积设备设计与实验

设计了Co-Re化学气相沉积设备。该设备采用两个升华室,分别以Co(acac)_2和Re_2(CO)_(10)为前驱体,通过运载气体H_2输运至反应室,在速射武器身管钢基体上(0CrNi2MoVA型钢材)同时沉积Co原子和Re原子,生成Co-Re合金抗烧蚀涂层。文章介绍了设备的原理和构成以及设备控制系统的设计方案,并着重介绍了利用道尔顿分压定律设计计算设备的升华室、反应室尺寸。经过初步的测试表明:该设备能够为Co-Re涂层的制备提供合适的温度与气压,并且结构简单、制造成本低,可用于Co-Re合金涂层的制备与研究。     

化学气相沉积制备Co-Re合金涂层的热力学分析

Co-Re合金涂层是一极具潜力的抗高温烧蚀材料。利用HSC Chemistry 6.0软件对化学气相沉积Co-Re合金涂层进行模拟计算。分析结果表明,选择H_2-Re_2(CO)_(10)和H_2-Co(acac)_2为反应体系,在0～1 000℃的温度范围内ΔG均小于零;反应产物Re和Co含量随沉积温度的升高而增加,但沉积过程中会有C单质产生;制备Co-Re合金涂层的最佳反应温度区间为400～600℃。