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控制少子寿命技术,是制造快速晶闸管的关键问题.目前在众多的国内外厂家中常采用的方法是扩金,利用这一技术制造的快速元件,可以得到关断时间t_Q和通态压降V_F之间的最佳折衷曲线,但元件的高温特性较差.随着高能粒子辐照技术在半导体制造上的应用,七十年代初人们试图以高能电子和γ光子束轰击硅,只要辐照能量、剂量控制准确,就能达到准确控制少子寿命的目的.但是利用辐照技术 相似文献
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