显微红外热成像技术在故障定位中的应用

电子元器件是整机的基础,在装备的生产和使用过程中,元器件工作异常将影响整个装备的正常运行,元器件发生故障时,必须迅速、准确地进行故障分析和失效定位,避免军用装备在关键时刻发生故障。显微红外热成像技术是一种对电子元器件的微小面积进行高精度非接触的测量,能够显示元器件的反常热分布,暴露不合理的设计和工艺缺陷。论文介绍了显微红外热像仪的原理及特点,举例说明了显微红外热成像技术在失效分析故障定位中的应用,对元器件的故障失效分析和有效性检测提供了指导作用。     

微电子器件温度分布测试技术研究

为改善微电子器件性能,提高可靠性,确定筛选、考核条件等都必须对器件的结温、表面温度分布以及热斑等热特性进行精确测量,红外热像法是当前测量微电子器件热特性最有效的方法之一。文章针对InfrascopeⅡ型显微红外热像仪在实际应用中如何提高其测温准确度和一致性等问题进行了研究,重点分析了样品发射率、背景环境和大气衰减等因素的影响,并给出验证解决方案,取得了满意的结果。     

半导体分析仪微小电流校准方法研究

半导体分析仪作为目前半导体器件I-V特性曲线的最重要测量仪器,其微小电流低至pA量级,准确度至1%,采用常规直接测量方法无法实现,论文在研究校准方案的基础上,利用"加压测流法"对GΩ量级高值电阻器进行标定,设计与其配套的无源低电流适配器,巧妙利用Guard技术实现对pA、nA量级微小电流的校准。采用"传递比较法"与上级机构对1pA~10nA的微小电流进行验证,试验数据验证了论文校准方案的正确性。论文技术成果已经应用于半导体工艺线源表类测试系统的校准中,值得借鉴推广。     

MEMS晶圆级测试系统现状及未来展望

微机电系统（ MEMS）产品的广泛应用使得晶圆级测试技术必要性日益凸显。分析了国内和国际MEMS晶圆级测试系统硬件和MEMS晶圆级测试技术的现状。参照国际上利用RM8096/8097标准物质（ RM）对MEMS产品进行计量测试的方法,给出了针对我国现有MEMS晶圆级测试系统校准问题的初步解决方案。并指出了该类测试系统今后向着标准化模块化方向发展的趋势。     

不同脉冲工作条件对GaN HEMT器件结温的影响

研究了不同脉冲工作条件对GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)结温的影响,通过改变脉冲信号发生器的输出频率和占空比来改变器件的工作条件,利用具备高空间分辨率的显微红外热像仪进行瞬态结温测试。结果表明:器件工作在给定的平均功率下,可以通过提高脉冲信号占空比和频率来改善器件的寿命和性能可靠性;工作在给定的峰值功率下,可以通过降低脉冲占空比和提高脉冲频率来改善器件的寿命和性能可靠性。沟道温度影响着半导体器件的寿命,因此,可以在器件能够承受的范围内通过改变脉冲占空比和脉冲频率来改善器件的寿命和性能可靠性。     

片上皮法级电容测试系统专用标准件的研制

研制了一套用于片上皮法级电容测试系统的电容标准件,量值低至1 pF,频率达到1 MHz。该电容标准件采用GaAs衬底,金属-绝缘层-金属(MIM)结构的电容器阵列实现,其标称值分别为1,10和100 pF。为了消除由探针系统和外界环境引入的分布电容的影响,在芯片同一单元内设计了在片开路器,电容测量准确度达到±1%。建立了在片皮法级电容测量模型,利用组建的可溯源在片定标装置对电容样片定标后,进行重复性和稳定性考核,最终研制出年稳定性小于0.4%的电容标准件一套。测量结果及标准件应用表明,研制的标准件可为片上皮法级电容测试系统进行现场整体校准。     

联系实际贯彻《高等学校档案实体分类法》和《高等学校档案工作规范》

《高等学校档案实体分类法》和《高等学校档案工作规范》(以下简称《分类法》《规范》),自1994年1月1日施行以来,对高校档案工作起到了明显的促进作用。但发展还不平衡。据笔者了解,部分高校目前还没有正式实施,有的尚处于学习文件,酝酿方案,准备实施阶段;有的还在等待观望。因此,进一步宣传贯彻《分类法》和《规范》,引导高校档案工作者正确认识施行《分类法》和《规范》的意义,联系实际,有创见地贯彻好《分类法》和《规范》,是高校档案工作面临的一项重要工作任务。     

微安级电流数字源表的自动校准系统

目前,实验室注1校准数字源表的主要标准器为5700A多功能校准源以及8508A数字多用表,由于其电流功能的最小量程为200μA,导致微安级电流的自动校准还无法实现。针对这个难题,通过Met/Cal软件开发平台,利用现有硬件基础,采用＂间接测量法＂攻克了这一难关。文章以校准Keithley2400数字源表为例,详细介绍了解决方案的实现。最后通过评定测试数据的不确定度证明了方案的可行性。     

直流低电阻表校准方法研究及测量不确定度评定

文章分别介绍了直流数字低电阻表(以下简称低电阻表)的两种校准方法("整体"校准法和"电流表-电压源"模拟电阻校准法)及其适用范围。重点介绍了后者的实现过程和可行性评定。通过对两种方法测量结果的不确定度评估,充分体现了间接校准法的优势,为直流低电阻表提供了一种非常有效的提高测量不确定度的计量方法。