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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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近几年来,由于在结晶岩内发现了大量油气储量又再度引起了“生物”与“非生物”油气成因说派之间的争议。 相似文献
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针对田山引黄灌区运行 2 0余年 ,目前实际灌溉面积仅占设计值的 4 4 % ,已严重制约灌区经济的稳步发展等问题。根据灌区社会经济概况及发展规模 ,进行了水资源平衡分析 ,为灌区续建配套与节水改造规划提供依据。结论认为 :通过引用黄河水 ,同时加快灌区配套与节水改造 ,灌区总水资源量能够满足灌区用水量要求 相似文献
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国有企业领导者一个重要的任务就是要养成学习和思考的良好习惯, 善于用变革的观念重塑自我,善于用信息技术提升自己的水平能力,并带领企业完成学习型组织的构建。 相似文献
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利用Matlab和Simulink对DSP进行系统级的设计方法 总被引:5,自引:0,他引:5
本文介绍了利用Matlab和Simulink中Developer‘s Kit for TI DSP工具对DSP进行系统级设计的方法。 相似文献
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